Kompresszorok

Az Edwards CTI-Cryogenics olyan kompresszorok választékát kínálja, amelyek optimális teljesítményt nyújtanak a fedélzeti krioszivattyúkkal, Cryo-Torr krioszivattyúkkal és/vagy fedélzeti vízszivattyúkkal.

A beépített krioszivattyú-teljesítményátalakító minden Edwards vákuumszivattyú esetében maximális krioszivattyú-teljesítményt biztosít 50 és 60 Hz-es alkalmazásokban egyaránt.

• A kompresszort úgy tervezték, hogy optimális teljesítményt nyújtson az On-Board cryopumpákkal, az On-Board vízpumpákkal és a Cryo-Torr cryopumpákkal, és minden, legfeljebb nyolc hüvelyk méretű szivattyút támogat. Mivel a 8200 rugalmasságra lett tervezve, a kompresszort bárhol elhelyezheti, ahol az a legkényelmesebb a rendszer működéséhez.

• Kifejezetten a hosszú hasznos élettartamra, a nagyfokú megbízhatóságra és a könnyű használhatóságra tervezve, ez a kompresszor kimagasló teljesítményt nyújt minden Cryo-Torr krioszivattyúval, On-Board krioszivattyúval, On-Board vízszivattyúval és On-Board TurboPlus vákuumszivattyúval. A 9600 támogatja mind az egy-, mind a csoportosított szivattyúkonfigurációkat, és kompatibilis a CTI-Cryogenics szivattyúberendezésekkel világszerte.

• A megnövelt héliumkimenetnek köszönhetően a 9700A kompresszor ideális több krioszivattyú működtetéséhez. Számos krioszivattyús és vízszivattyús alkalmazásban egy 9700A kompresszor egyetlen kompresszoros megoldást kínál. A több kompresszoros alkalmazásokhoz képest csökkentett energiafogyasztású, vízelosztású és helyigényű 9700A kompresszor kompatibilis a Cryo-Torr és az On-Board krioszivattyúkkal.

• IS-1000 kompresszor - intelligens, nagy hatékonyságú kompresszortechnológia On-Board IS krioszivattyúkhoz. Az IS-1000 kompresszor akár hat On-Board IS-8F krioszivattyút IS támogat ugyanazon a helyen, mint a 9600 kompresszor.
  IS-2000V kompresszor - a legkisebb energiafogyasztást biztosítja a működés minden fázisában a magasabb nyomás, a forgó technológia és az adaptálható héliumszállítás kombinációja révén, a SEMI S-23 célkitűzéseinek megfelelően. Az IS-2000V két On-Board IS-1000 kompresszort vált fel. Ez a nagy kapacitású héliumkompresszor az On-Board IS krioszivattyús alkalmazások támogatására szolgál. A beépített krioszivattyú-teljesítményátalakító maximális krioszivattyú-teljesítményt biztosít mind az 50, mind a 60 Hz-es alkalmazásokban.