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MaxCool 2500L_w

Pumpen von Wasserdampf

Wasserdampf ist in der Regel die reaktivste vorhandene Verunreinigung. Mit dem MaxCool-Kryokühler können Sie den Produktdurchsatz in Ihrer vorhandenen Anlage um 20 % bis 100 % steigern und die Qualität der Abscheidung verbessern.

 

Die Vorteile von MaxCool

  • Hochvakuum-Abpumpzeiten um bis zu 75 % kürzer
  • Schnelles Pumpen von Wasserdampf: 10.000 bis 140.000 l/s im Arbeitsbereich
  • Erhöhter Produktdurchsatz von 20 % bis 100 %
  • Geringerer Wasserdampfpartialdruck während der Verarbeitung für höhere Folienqualität, bessere Haftung und reproduzierbarere Abscheidung
  • Hervorragend im Preis-Leistungs-Verhältnis gegenüber flüssigstickstoffgekühlten Meissners
  • Minimierung der Betriebskosten durch Energiemanagement
  • Hochleistungskühlung und -heizung für eine Vielzahl von Prozessen

Als Ergänzung zu Ihrem Vakuumsystem kann der Kryokühler MaxCool die Abpumpzeiten erheblich verkürzen und den Produktdurchsatz erhöhen. Der MaxCool pumpt innerhalb von Minuten nach dem „Start“ Wasserdampf und kann in weniger als vier Minuten auftauen, was echte Schnellzyklusfähigkeit bedeutet. Das Gerät verfügt auch über eine Option namens Rapid Cool to Cool, die die Wartezeit nach dem Auftauen eliminiert. Für Ihr System bedeutet dies mehr Produktionszyklen pro Schicht.

Mit den patentierten Polycold-Kältemittelgemischen arbeitet der MaxCool nach dem Prinzip der Meissner-Falle. Wasserdampf wird durch Kondensation auf einer kryogen gekühlten Oberfläche aufgefangen, der sogenannten Meissner-Spule. Die Meissner (Kryospule) wird direkt in der Vakuumkammer montiert, sodass der Leitwert nicht durch Anschlüsse, Sammelrohre, Ventile und Leitbleche begrenzt wird. Die Kryospulen sind einfach zu installieren und können an jedes System angepasst werden.

Es wird kein Hochvakuumventil benötigt.

MaxCool-Kryokühler sind eine ausgesprochen kostengünstige Nachrüstung, die Sie zu jedem Diffusionspumpen-, Turbo- oder Helium-Kryopumpen-System hinzufügen können.

MaxCool-Kryokühler sind konform mit der europäischen Kältemittelanwendung (laut Verordnung EG Nr. 1005/2009), dem Montreal-Protokoll und dem US EPA SNAP.

 

Vorteile

  • -120 bis -145 °C (153 bis 128 K)
  • Wärmeabfuhr bis 2500 Watt
  • Kryokondensiert Wasserdampf in Vakuumsystemen mit Geschwindigkeiten bis 140.000 l/sec, Vakuumstufen bis 8 x 10-10 Torr (1 x 10-9mbar)
  • Theoretisches maximales Saugvermögen 208.600 l/s
  • Erhöhte Produktivität durch „Rapid Cool to Cool“
  • Option für Energiemanagement zur Minimierung der Betriebskosten
  • Temperaturregelung
  • Die patentierte umweltfreundliche Kältemittelfüllung entspricht den weltweit gültigen Standards, ist ungiftig und nicht entzündbar.
  • Sie basiert auf der bewährten, innovativen und zuverlässigen Mischgaskühlung von Polycold.
  • Entspricht EU PED und MD
  • Von TÜV Rheinland nach NRTL/CANADA Sicherheitsstandards gelistet
  • Nach ISO 9001:2008 zertifizierter Hersteller

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