水蒸汽抽氣
Polycold MaxCool 2500 L 低溫製冷器可有效捕集水蒸氣，這些水蒸氣佔高真空系統中殘留氣體的 65％ 至 95％。
水蒸汽通常是系統中最具反應性的汙染物。您可透過我們的 MaxCool 低溫製冷器，讓現有系統中的產品吞吐量提高 20% 至 100%，並改善沉積品質。
MaxCool 優勢
- 高真空抽氣時間最多降低 75%
- 高速抽吸水蒸汽：工作區達 10,000 至 140,000 l/sec
- 產品吞吐量提高 20% 至 100%
- 降低處理期間的水蒸汽分壓，因此薄膜品質更高、附著力更佳且更能重現沉積作用
- 與使用液態氮冷卻的麥士納 (Meissner) 裝置相比，成本效益比更為優異
- 藉助電源管理將擁有成本降至最低
- 適用於各式各樣製程的高容量冷卻和加熱
將 MaxCool 低溫製冷器加裝至真空系統後，能夠大幅降低抽氣時間並提高產品吞吐量。MaxCool 將在啟動的數分鐘內抽吸水蒸汽，並在不到四分鐘內除霜，提供真正的快速循環功能。本產品也備有快速冷卻 (Rapid Cool to Cool) 選項，可消除除霜後的等候期間，因此您的系統每個工班能夠執行更多生產循環。
MaxCool 採用獲得專利的 Polycold 冷媒混合物，以麥士納 (Meissner) 捕獲原理運作。透過低溫冷卻表面 (稱為麥士納盤管) 上的冷凝作用捕獲水蒸汽。麥士納裝置 (低溫盤管) 直接安裝於真空腔體中，因此傳導不會受限於汽門口、歧管、閥門和擋板。低溫盤管安裝簡易，經過調整可以安裝於任何系統
它不需要高真空閥。
您可以將 MaxCool 低溫製冷器加入任何擴散泵浦、渦輪泵浦或氦氣低溫泵浦系統，這是最具成本效益的升級產品。
MaxCool 低溫製冷器符合歐洲應用冷媒 (EC 1005/2009)、蒙特羅議定書和美國 EPA SNAP 標準。
優點
- -120 至 -145C (153 至 128K)
- 以 2500 瓦的功率散熱
- 在速度高達 140,000 l/s、真空度達到 8 x 10-10 torr (1 x 10-9 mbar) 的真空系統中低溫冷凝水蒸氣
- 理論最大抽吸速度為 208,600 l/s
- 快速冷卻，提高生產力
- 將持有成本最小化的電力管理選項
- 溫度控制
- 獲得專利的綠色冷媒充填符合全球標準，無毒、不可燃
- 以經 Polycold 驗證、創新、可靠的混合氣體製冷為基礎
- 符合歐盟 PED 與 MD
- 德國萊茵認證至 NRTL/加拿大安全標準
- ISO 9001:2008 認證製造商
