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Pompaggio del vapore acqueo

Il vapore acqueo è in genere il contaminante più reattivo presente. Con i chiller criogenici MaxCool è possibile aspettarsi un aumento della produttività del sistema esistente dal 20% al 100% e una migliore qualità dei depositi.

 

Vantaggi di MaxCool

  • Tempi di evacuazione dell'alto vuoto ridotti fino al 75%
  • Pompaggio ad alta velocità del vapore acqueo: da 10.000 a 140.000 l/sec nell'ambiente di lavoro
  • Aumento della produttività dal 20% al 100%
  • Minore pressione parziale del vapore acqueo durante la lavorazione per una maggiore qualità, una migliore adesione e una deposizione maggiormente riproducibile del film
  • Superiore in termini di costo/prestazioni rispetto ai Meissner raffreddati all'azoto liquido
  • Riduzione al minimo dei costi di proprietà grazie al sistema di gestione dell'energia
  • Raffreddamento e riscaldamento ad alta capacità per un'ampia varietà di processi

In aggiunta al tuo sistema per vuoto, il chiller criogenico MaxCool è in grado di ridurre significativamente i tempi di pompaggio e aumentare la produttività. MaxCool pompa il vapore acqueo entro pochi minuti dall'avviamento, raggiunge il punto di scongelamento in meno di quattro minuti, garantendo una funzionalità del ciclo estremamente rapida. Inoltre, è dotato di un'opzione denominata Rapid Cool to Cool che consente di eliminare il periodo di attesa dopo lo sbrinamento. Per il tuo sistema sta a significare più cicli di produzione per turno.

Utilizzando miscele di refrigerante Polycold brevettate, MaxCool si basa sul principio del intrappolamento Meissner. Il vapore acqueo viene catturato per condensa su una superficie raffreddata criogenicamente, chiamata bobina Meissner. La bobina Meissner è montata direttamente nella camera a vuoto in modo che la conduttanza non sia limitata da porte, collettori, valvole e deflettori. La bobina criogenica è facile da installare e può essere adattata a qualsiasi sistema.

Non necessita di una valvola per alto vuoto.

I chiller criogenici MaxCool costituiscono l'upgrade più economico che è possibile aggiungere a qualsiasi sistema con pompa a diffusione, pompa turbo o criogenica all'elio.

I chiller criogenici MaxCool sono conformi ai refrigeranti per applicazioni europee (CE 1005/2009), al Protocollo di Montreal e a EPA SNAP statunitense.

 

Vantaggi

  • Da -120 a -145 °C (da 153 a 128 K)
  • Eliminazione del calore fino a 2.500 Watt
  • Vapore acqueo da condense criogeniche in sistemi per vuoto con velocità fino a 140.000 l/sec, livelli di vuoto fino a 8×10-10 torr (1×10-9 mbar)
  • Massima velocità di pompaggio teorica pari a 208.600 l/s
  • Aumento della produttività con l'opzione "Rapid cool to cool"
  • Opzione per la gestione dell'alimentazione per ridurre al minimo i costi di proprietà
  • Controllo della temperatura
  • Il carico di refrigerante ecologico brevettato è conforme a livello globale, non tossico e non infiammabile
  • Basato sul collaudato, innovativo e affidabile raffreddamento a gas misto Polycold
  • Conforme alle norme UE PED ed MD
  • Certificato TUV Rheinland secondo gli standard di sicurezza NRTL/CANADA
  • Produttore certificato ISO 9001:2008

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