水蒸気排気
Polycold MaxCool 2500 Lクライオチラーは、高真空システムの残留ガスの65〜95%を含む水蒸気を効果的に捕捉します。
水蒸気は通常、最も反応性の高い汚染物質です。MaxCoolクライオチラーを使用すると、既存システムの処理能力を20％～100％向上させ、凝結品質を改善できます。
MaxCoolの利点
- 高真空ポンプダウン時間を最大75％短縮
- 水蒸気の高速ポンプ：ワークスペースに10000～140000 L/秒
- 処理能力を20％～100％増加
- 処理中の水蒸気分圧を低くしてフィルム品質を高め、密着性を向上させることで凝結の再現性を高めます
- 液体窒素冷却マイスナーと比べて、優れたコストパフォーマンス
- 電源管理で所有コストを最小化
- 幅広いプロセスに対応する大容量の冷却と加熱
MaxCoolクライオチラーをお使いの真空システムに追加すると、ポンプダウンタイムを大幅に短縮し、製品スループットを改善できます。MaxCoolは、「起動」から数分以内に水蒸気を送出し、4分以内に解凍できるため、真の高速サイクル機能を実現します。また、Rapid Cool to Cool（急速冷却から冷却）と呼ばれるオプションにより、除霜後の待機時間を解消することで、システムのシフトあたりの生産サイクルを増加させることができます。
MaxCoolは特許取得済みのPolycold混合冷媒を使用し、マイスナートラップの原理で動作します。水蒸気は、マイスナーコイルと呼ばれる極低温に冷却された表面で凝縮されトラップされます。マイスナー（クライオコイル）は真空チャンバーに直接取り付けられているため、ポート、マニホールド、バルブ、バッフルなどのコンダクタンスの影響がありません。クライオコイルは設置が簡単で、あらゆるシステムに適合します。
高真空バルブは必要ありません。
MaxCoolクライオチラーは、拡散ポンプ、ターボポンプ、またはヘリウムクライオポンプシステムに追加できる最もコスト効率に優れたアップグレードです。
MaxCoolクライオチラーは、欧州冷媒規制（EC 1005/2009）、モントリオール議定書およびUS EPA SNAPに準拠しています。
メリット
- -120～-145C (153～128K)
- 2500ワットまで熱除去
- 140,000 l/秒の速度、8 x 10-10 torr (1 x 10-9mbar) までの真空レベルをもって、真空システム内で水蒸気を低温凝縮
- 理論上の最大排気速度208,600 l/s
- 急速冷却から冷却までの生産性の向上
- 所有コストを最小化する電源管理オプション
- 温度制御
- 特許取得済みのグリーン冷媒注入は、国際的な規制に準拠しており、毒性も可燃性もありません
- Polycoldで実証済みの革新的で信頼性の高い混合ガス冷凍に基づきます
- EU PEDおよびMDに準拠
- NRTL/CANADA安全基準に適合したTUV Rheinland認定
- ISO 9001:2008認定メーカー
