ข่าวประชาสัมพันธ์

Edwards นําเสนอในวารสาร AVS Journal: การพัฒนาประสิทธิภาพสุญญากาศด้วยการเคลือบโลหะผสม Ti-Zr-V-Hf

ระดับโลก | 28 สิงหาคม 2024 | 2 นาที

ที่ Edwards เรามุ่งมั่นที่จะขับเคลื่อนนวัตกรรมในเทคโนโลยีสุญญากาศและมีส่วนร่วมในข้อมูลเชิงลึกที่มีค่าต่อชุมชนวิทยาศาสตร์

การศึกษาร่วมกันล่าสุดของเรา ซึ่งดําเนินการโดยนักวิจัยของเรา Paul Smith, Sam Lodge และ Andrew Chew ได้เผยแพร่ในวารสาร AVS อันทรงเกียรติ

บทความที่มีชื่อว่า " การประเมินประสิทธิภาพการปั๊มของส่วนผสมของสารเคลือบตัวรับที่ไม่ระเหยของโลหะผสม Ti-Zr-V-Hf ที่มีสัณฐานวิทยาที่แตกต่างกัน โปรโตคอลการกระตุ้นที่ควบคุมที่อุณหภูมิเย็น" เน้นการวิจัยชั้นนําของ Edwards ในสารเคลือบตัวรับที่ไม่ระเหย (NEG)

ในการศึกษานี้ ทีมงานของเราได้สํารวจประสิทธิภาพการปั๊มของสารเคลือบ NEG อัลลอย Ti-Zr-V-Hf หลากหลายชนิด โดยมุ่งเน้นไปที่สัณฐานวิทยาและโปรโตคอลการกระตุ้นการทํางานที่แตกต่างกันส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพของสารเคลือบดังกล่าวอย่างไร การวิจัยนี้เน้นประสิทธิภาพที่เหนือกว่าของการเคลือบโลหะผสม Ti-Zr-V-Hf สองชั้น โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการบรรลุความเป็นไปได้ในการยึดเกาะที่สูงขึ้นสําหรับก๊าซเช่น H₂ และ N₂ ที่อุณหภูมิเย็น ซึ่งเป็นความก้าวหน้าที่มีความสําคัญต่อภาควิจัยและพัฒนา

ส่วนสําคัญของการศึกษานี้เกี่ยวข้องกับการทดสอบตัวอย่างที่เคลือบด้วย NEG โดยใช้แท่นทดสอบขั้นสูงที่ติดตั้งปั๊มเทอร์โบโมเลกุล nEXT85H (TMP) ของ Edwards และปั๊มสโครล nXDS15i ของ Edwards การตั้งค่านี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงสภาวะแรงดันพื้นฐานที่เหมาะสมที่สุด ทําให้สามารถวัดความน่าจะเป็นของการติดขัดและความจุขั้วที่ระดับ UHV ได้อย่างแม่นยํา

ผลลัพธ์แสดงให้เห็นว่าการเคลือบสองชั้น (ชั้นคอลัมน์บนชั้นที่หนาแน่น) ช่วยเพิ่มโอกาสในการเกาะติดได้อย่างมีนัยสําคัญ โดยเฉพาะอย่างยิ่งสําหรับ H₂ และ N₂ ปั๊มของเรามีบทบาทสําคัญในการรักษาสภาวะสุญญากาศที่แม่นยําที่จําเป็นสําหรับการทดสอบเหล่านี้ ซึ่งยืนยันความน่าเชื่อถือในการใช้งานที่มีประสิทธิภาพสูง