Edwards CTI-Cryogenics 8200 Compressor Data sheet
Edwards CTI-Cryogenics sortiment av kompressorer
Edwards CTI-Cryogenics erbjuder ett urval av kompressorer utformade för att ge optimal prestanda med On-Board Cryopumps, Cryo-Torr Cryopumps och/eller On-Board Waterpumps.
En integrerad frekvensomvandlare för kryopumpar säkerställer maximal prestanda för kryopumpar vid både 50 och 60 Hz-applikationer för alla Edwards vakuumpumpar.
8200 Kompressor
Utformad för att ge optimal prestanda med On-Board Cryopumps, On-Board Waterpumps och Cryo-Torr Cryopumps, stöder denna kompressor alla pumpar upp till åtta tum i storlek. Eftersom 8200 är designad för flexibilitet kan du placera kompressorn där det är mest bekvämt för din systemdrift.
9600 Kompressor
Konstruerad uttryckligen för lång användbar livslängd, hög driftsäkerhet och enkel användning, erbjuder denna kompressor enastående prestanda med alla Cryo-Torr Cryopumps, On-Board Cryopumps, On-Board Waterpumps och On-Board TurboPlus Vacuum Pumps. 9600 stöder både enskilda och grupperade pumpkonfigurationer och är kompatibel med CTI-Cryogenics pumpinstallationer världen över.
9700A Kompressor
Med ökad heliumproduktion är 9700A-kompressorn idealisk för att driva flera kryopumpar. I många applikationer med flera kryopumpar och vattenpumpar erbjuder en enda 9700A-kompressor en komplett kompressorlösning. 9700A-kompressorn, som minskar energiförbrukning, vattenfördelning och platsbehov jämfört med applikationer med flera kompressorer, är kompatibel med Cryo-Torr och On-Board kryopumpar.
IS-kompressorer
IS-1000 Kompressor - intelligent, högpresterande kompressorteknologi för On-Board IS Kryopumpar. IS-1000 Kompressor stödjer upp till sex On-Board IS-8F Kryopumpar på samma plats som en 9600 Kompressor.
IS-2000V-kompressor - levererar lägsta energiförbrukning i alla driftfaser genom kombinationen av högre tryck, roterande teknik och anpassningsbar heliumleverans i linje med SEMI S-23-målen. IS-2000V ersätter två On-Board IS-1000-kompressorer. Denna högkapacitets heliumkompressor är utformad för att stödja On-Board IS Cryopump-applikationer. En integrerad frekvensomriktare för kryopumpskraft säkerställer maximal kryopumpsprestanda vid både 50 och 60 Hz-applikationer.
