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Válvulas especiais para sistemas de vácuo

Projetada para aplicações especializadas

Válvulas especiais para sistemas de vácuo

Por que escolher uma válvula especial?

A válvula especial não é um tipo de válvula, mas um termo amplo que se refere a uma categoria de válvulas projetadas para aplicações específicas e especializadas em sistemas de vácuo. 

Essas válvulas vêm em vários tamanhos e designs, incluindo manuais e pneumáticas e muitas vezes incorporam recursos avançados para enfrentar os desafios específicos das aplicações pretendidas. 

Válvulas de admissão de ar AV5A com acoplamentos

A AV5A é fabricada em liga de alumínio. Possui um botão de controle conectado a um êmbolo acionado por parafuso: gire o botão de controle no sentido horário para fechar a válvula. Um anel o-ring de nitrilo veda o êmbolo ao corpo da válvula. 

A válvula pode ser conectada diretamente, com suporte de tubulação ou montada no painel, e é conectada ao sistema de vácuo com o acoplamento Edwards SC5 (fornecido).

 
  • Válvula de admissão de ar manual simples
  • Conecta-se diretamente, com suporte de tubulação ou montado em painel
  • Conecta-se através de um acoplamento SC5 (fornecido)
Válvulas de admissão de ar AV5A com acoplamentos
AV10K

Válvulas de admissão de ar AV10K

A AV10K é fabricada e funciona da mesma forma que a AV5A, mas está conectada de forma diferente.

Essa válvula pode ser suportada apenas por tubulação e está conectada ao sistema de vácuo com uma conexão NW10.

  • Válvula de admissão de ar manual simples
  • Suportada somente por tubulação
  • Conecta-se por meio de uma conexão NW10

Válvula de apoio/desbaste BRV

As válvulas de apoio/desbaste BRV com terminações de desbaste e bomba de pré-vácuo ISO NW apresentam atuação manual ou pneumática. Elas combinam a função de válvulas de apoio/desbaste separadas em uma unidade integral de 3 portas.

Um conector flexível de neoprene é fornecido para a conexão de apoio. As portas da bomba de desbaste e de pré-vácuo terminam na terminação NW apropriada.

  • Fácil de operar - ambas as portas na posição fechada 
  • Longa vida útil - 100.000 operações ou mais 
  • Indicador de posição na válvula pneumática 
  • Estanqueidade melhor que 10‑9mbar ls‑1/8 x 10‑10 Torr ls‑1
BRV10K
IPV10EK

IPV10EK Válvula de admissão de ar NW10

A IPVA10EK é uma válvula operada por solenoide projetada para a admissão automática de ar ou gás de ventilação em um sistema de vácuo.

A válvula possui duas portas com flanges NW. Uma das portas da válvula está conectada ao sistema de vácuo, a outra porta pode ser deixada aberta para a atmosfera ou conectada a um fornecimento de gás de ventilação.

O sistema de vácuo é isolado da atmosfera (ou do fornecimento de gás de ventilação) por uma pastilha de fluoroelastômero na base do êmbolo da válvula, que veda contra o corpo da válvula.

  • Opção normalmente aberta ou normalmente fechada 
  • Envelope pequeno
  • Proteção IP65
  • MTTF 500.000 ciclos

Válvula borboleta de quarto de giro QSB

As válvulas de de quarto de giro QSB são válvulas de isolamento de alta condutância, de ação rápida e compactas. As válvulas QSB têm um corpo flangeado ISO de aço inoxidável polido com placa de válvula e eixo vedados com anel o-ring em fluoroelastômero. A ranhura do anel o-ring da placa da válvula é ventilada para ajudar a manter um alto vácuo estável. Os anéis o-ring e os rolamentos do eixo da válvula são lubrificados com graxa Fomblin® para evitar explosões de gás por trás das vedações do eixo. 

Essa válvula é fornecida com uma vedação conjunta. 

  • Operação manual 
  • Alta condutividade
  • Resiste à atmosfera em qualquer direção 
  • Ação compacta e rápida 
  • Construção resistente à corrosão 
QSB63
Válvula de isolamento de vácuo VIV - Vista lateral direita

Válvula de isolamento de vácuo VIV

A válvula de isolamento de vácuo VIV é uma válvula de isolamento de alto vácuo, de alta condutância e ação rápida, projetada para evitar o movimento de vapor ou partículas da bomba de apoio para a câmara de processo.

Quando a VIV está fechada, a bomba de apoio é ventilada com segurança. A VIV protege a câmara de processo contra ventilação quando a bomba para ou é parada. Quando a bomba de apoio for reiniciada, a válvula abrirá lentamente quando a pressão dentro da VIV cair, minimizando os efeitos de qualquer pico de pressão.

A válvula de isolamento de vácuo VIV destina-se ao uso com bombas primárias secas pequenas da Edwards da linha nXDS, XDS, nXLi e nXRi. 

  • Alta condutância 
  • Ação de fechamento rápido 
  • Proteção contra falha de energia 
  • Opções flexíveis de instalação 
  • Não restringe o desempenho da bomba primária 
  • Evita a migração de vapor ou partículas da bomba de apoio para a câmara de processo 
  • Evita a ventilação da câmara de processo em caso de falha da fonte de alimentação 

Para bombas de apoio Edwards equipadas com o conector de válvula M8 ou o conector de interface lógica tipo D de 15 vias, recomendamos o uso de válvulas de 24 V cc e cabo acessório opcional ou VIV Link, pois isso oferece maiores níveis de proteção.

Funcionário da Edwards está em pé no corredor sorrindo
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