真空システム用特殊バルブ

特殊用途向けに設計

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特殊バルブが選ばれる理由

特殊バルブは、バルブの一種ではなく、真空システム内の特定の特殊な用途向けに設計されたバルブのカテゴリーを指す幅広い用語です。

これらのバルブには、手動や空圧式など、さまざまなサイズや設計が用意されています。多くの場合、目的の用途特有の課題に対処するための高度な機能が組み込まれています。

カップリング付きAV5A通気バルブ

AV5Aはアルミニウム合金製です。スクリュー作動型プランジャーにはコントロールノブが取り付けられています。コントロールノブを時計回りに回すとバルブが閉じます。ニトリルOリングがバルブ本体にプランジャーを密閉します。

バルブは直接接続、パイプラインサポート、パネル取り付けが可能であり、真空システムにはエドワーズSC5カップリング（付属）を使用して接続します。

シンプルな手動通気バルブ
直接接続、パイプラインサポート、またはパネル取り付け
SC5カップリング（付属）で接続

AV10K通気バルブ

AV10Kは、AV5Aと同様に製造され作動しますが、接続方法が異なります。

このバルブは、パイプラインサポートのみで、NW10継手を使用して真空システムに接続します。

シンプルな手動通気バルブ
パイプラインサポートのみ
NW10継手で接続

BRVバッキング/粗引きバルブ

ISO NW粗引きおよびフォアポンプターミネーションを備えたBRVバッキング/粗引きバルブは、手動または空圧作動を特徴としています。これらは、1つの一体型3ポートユニットに個別のバッキング/粗引きバルブの機能を組み合わせています。

バッキング接続用のフレキシブルネオプレンコネクタが付属しています。粗引きおよびフォアポンプポートは、適切なNWターミネーションで終端します。

操作が簡単 - 両ポートとも閉位置
長い耐用年数-10万回以上の作動
空圧式バルブの位置インジケータ
漏れ防止は、10^‑9mbar ls^‑1/8 x 10^‑10 Torr ls^‑1以上

IPV10EK通気バルブNW10

IPVA10EKは、ソレノイド式バルブで、真空システムに空気またはベントガスを自動的に入れるように設計されています。

バルブにはNWフランジ付きの2つのポートがあります。バルブポートの1つは真空システムに接続されており、もう1つのポートは大気開放または排気ガス供給に接続したりできます。

真空システムは、バルブプランジャーの底部にあるフッ素エラストマーパッドによって大気（または排気ガス供給）から隔離され、バルブ本体に密閉されています。

ノーマルオープンまたはノーマルクローズのオプション
小型エンベロープ
IP65保護
500,000サイクルのMTTF

QSBクォータースイングバタフライバルブ

QSBクォータースイングバルブは、コンパクトで迅速な作動を実現する高伝導の隔離バルブです。QSBバルブは、研磨仕上げのステンレス製ISOフランジ付きボディーで、バルブプレートとシャフトはフッ素ゴムOリングでシールされています。バルブプレートのOリング溝は、安定した高真空を維持するために通気性があります。バルブシャフトのOリングとベアリングはFomblin®グリースで潤滑されており、シャフトシールの裏側からのガスバーストを防ぎます。

このバルブには、コシールが付属しています。