Speciální ventily pro vakuové systémy

Určeno pro specializované aplikace

Proč zvolit speciální ventil?

Speciální ventil není typ ventilu, ale široký pojem, který označuje kategorii ventilů určených pro specifické a specializované aplikace v rámci vakuových systémů.

Tyto ventily se dodávají v různých velikostech a konstrukcích, včetně manuálních a pneumatických, a často obsahují pokročilé funkce, které řeší specifické problémy jejich zamýšlených aplikací.

Ventily AV5A pro přívod vzduchu se spojkami

Ventil AV5A je vyroben ze slitiny hliníku. Má ovládací knoflík připevněný k pístu ovládanému pomocí šroubu: otočením ovládacího knoflíku po směru hodinových ručiček zavřete ventil. Nitrilový O-kroužek utěsňuje píst k tělesu ventilu.

Ventil může být připojen přímo, vynášen potrubím nebo namontován na panelu a k vakuovému systému se připojuje pomocí spojky Edwards SC5 (součást dodávky).

Jednoduchý manuální ventil pro přívod vzduchu
Připojení přímo, vynášen potrubím nebo montáž na panel
Připojení prostřednictvím spojky SC5 (součást dodávky)

Ventily AV5A pro přívod vzduchu se spojkami

Ventily AV10K pro přívod vzduchu

Ventil AV10K je vyroben a funguje stejným způsobem jako model AV5A, ale má jiný způsob připojení.

Tento ventil může být pouze vynášen potrubím a připojuje se k vakuovému systému pomocí armatury NW10.

Jednoduchý manuální ventil pro přívod vzduchu
Pouze vynášen potrubím
Připojuje se pomocí armatury NW10

Předčerpávací/hrubý ventil BRV

Předčerpávací/hrubovací ventily BRV s ISO NW přírubami jsou vybaveny manuálním nebo pneumatickým ovládáním. Kombinují funkci samostatných ventilů pro předčerpávání / hrubé čerpání v jedné celistvé jednotce se 3 porty.

Pro připojení předčerpávání je dodáván pružný neoprenový konektor. Porty pro hrubovací a primární vývěvy jsou zakončeny příslušnou koncovkou NW.

Snadná obsluha – oba porty jsou v uzavřené poloze
Dlouhá životnost – 100000 operací nebo více
Indikátor polohy na pneumatickém ventilu
Těsní na více než 10^{‐ 9} mbar ls^{‑ 1} / 8 x 10^‑10 Torr ls^{‑ 1}

Ventil přívodu vzduchu IPV10EK – NW10

IPVA10EK je ventil ovládaný elektromagnetem určený pro automatický přívod vzduchu nebo zavzdušňovacího plynu do vakuového systému.

Ventil má dva porty s přírubami NW. Jeden z portů ventilů je připojen k vakuovému systému, druhý port lze ponechat otevřený do atmosféry nebo připojený k přívodu zavzdušňovacího plynu.

Vakuový systém je izolován od atmosféry (nebo přívodu zavzdušňovacího plynu) pomocí podložky z fluoroelastomeru na základně pístu ventilu, která těsní proti tělesu ventilu.

Možnost normálně otevřeno nebo normálně zavřeno
Malý povrch
Ochrana IP65
MTTF 500000 cyklů

Škrticí ventil QSB se čtvrtinovými otáčkami

Škrticí ventily QSB se čtvrtinovými otáčkami jsou kompaktní, rychločinné, vysoce vodivé oddělovací ventily. Ventily QSB mají leštěné těleso z nerezové oceli s přírubou ISO a desku ventilu a hřídel s těsnicím O-kroužkem z fluoroelastomeru. Drážka O-kroužku na desce ventilu je odvětrávána, aby se udržovalo stabilní vysoké vakuum. O-kroužky a ložiska hřídele ventilu jsou mazány mazivem Fomblin®, aby se zabránilo prudkému uvolnění plynu zpoza těsnění hřídele.

Tento ventil je dodáván s těsněním Co‑Seal.

Manuální ovládání
Vysoká vodivost
Odolává atmosféře v obou směrech
Kompaktní a rychločinný
Konstrukce odolná proti korozi

Vakuový oddělovací ventil VIV

Ventil VIV je vysoce vodivý, rychločinný, vakuový oddělovací ventil, který je navržen tak, aby zabránil pohybu výparů nebo částic z předčerpávací vývěvy do procesní komory.

Po uzavření ventilu VIV se předčerpávací vývěva bezpečně zavzdušní. Ventil VIV chrání procesní komoru před zavzdušněním při zastavení vývěvy. Po opětovném spuštění předčerpávací vývěvy se ventil pomalu otevře, jakmile tlak ve ventilu VIV poklesne, čímž se minimalizuje vliv jakéhokoli tlakového nárazu.

Vakuový oddělovací ventil VIV je určen pro použití s malými suchoběžnými primárními vývěvami Edwards řady nXDS, XDS, nXLi a nXRi.

Vysoká vodivost
Rychlá akce uzavření
Ochrana při poruše elektrické sítě
Flexibilní možnosti instalace
Neomezuje výkon primární vývěvy
Zabraňuje migraci výparů nebo částic z předčerpávací vývěvy do procesní komory
Zabraňuje zavzdušnění procesní komory v případě výpadku napájení

Pro předčerpávací vývěvy Edwards vybavené ventilovým konektorem M8 nebo 15cestným konektorem logického rozhraní typu D doporučujeme používat ventily 24 V DC a volitelný kabel příslušenství nebo VIV Link, protože nabízí zvýšenou úroveň ochrany.