O MicroTIM fornece uma interface EtherCAT para bombas secas Edwards.
Para obter mais informações sobre a instalação e operação da interface, consulte o manual de instruções fornecido com o produto.
Bomba de vácuo mecânica |
Descrição da Alteração |
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| Nome do arquivo ESI | Nome do arquivo ESI |
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| Firmware MicroTIM compatível | D37363605E | |
| Perfil de dispositivo comum | ETG5003-1 | |
| Número de geração funcional CDP | 2 | |
| Perfil de dispositivo específico | ETG5003-2050 | |
| Número de geração funcional SDP | 2 | |
| Data de emissão | 4 de setembro de 2025 |
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- Roughing Pump.zip 8.2 kB, ZIP