O MicroTIM fornece uma interface EtherCAT para bombas secas Edwards.
Para obter mais informações sobre a instalação e operação da interface, consulte o manual de instruções fornecido com o produto.
Bomba de vácuo mecânica |
Descrição de alteração |
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| Nome do arquivo ESI | Edwards Roughing Pump D37363610I.xml |
Sm MinSize modificado para 128 para atender ao requisito de conformidade 7000.2 Anexo 5003 de Sm MinSize>=128. Atualizado para CTT 2.1.0. |
| Firmware MicroTIM compatível | D37363605D | |
| Perfil de dispositivo comum | ETG5003-1 | |
| Número de geração funcional CDP | 2 | |
| Perfil de dispositivo específico | ETG5003-2050 | |
| Número de geração funcional SDP | 2 | |
| Data de emissão | 22 de janeiro de 2019 |
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- Roughing Pump 7.9 kB, ZIP