MicroTIM은 Edwards 건식 펌프를 위한 EtherCAT 인터페이스를 제공합니다.
인터페이스 설치 및 작동에 대한 자세한 내용은 제품과 함께 제공된 지침 설명서를 참조하십시오.
러핑 펌프 |
변경 사항에 대한 설명 |
|
| ESI 파일 이름 | Edwards 러핑 펌프.xml |
|
| MicroTIM 펌웨어 호환 | D37363605E | |
| 공통 장치 프로필 | ETG5003-1 | |
| CDP 기능 생성 번호 | 2 | |
| 특정 장치 프로필 | ETG5003-2050 | |
| SDP 기능 생성 번호 | 2 | |
| 발행 일자 | 2025년 9월 4일 |
|
- Roughing Pump.zip 8.2 kB, ZIP