MicroTIM 提供適用於愛德華乾式泵浦的 EtherCAT 介面。
如需安裝和操作介面的詳細資訊，請參閱產品隨附的使用手冊。
粗抽泵浦 |
變更描述 |
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| ESI 檔案名稱 | 愛德華粗抽泵浦 .xml |
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| 相容的 MicroTIM 韌體 | D37363605E | |
| 一般裝置設定檔 | ETG5003-1 | |
| CDP 功能產生編號 | 2 | |
| 特定裝置設定檔 | ETG5003-2050 | |
| SDP 功能產生編號 | 2 | |
| 核發日期 | 2025年9月4日 |
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- Roughing Pump.zip 8.2 kB, ZIP
MicroTIM 提供適用於愛德華乾式泵浦的 EtherCAT 介面。
如需安裝和操作介面的詳細資訊，請參閱產品隨附的使用手冊。
粗抽泵浦 |
變更描述 |
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| ESI 檔案名稱 | 愛德華粗抽泵浦 .xml |
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| 相容的 MicroTIM 韌體 | D37363605E | |
| 一般裝置設定檔 | ETG5003-1 | |
| CDP 功能產生編號 | 2 | |
| 特定裝置設定檔 | ETG5003-2050 | |
| SDP 功能產生編號 | 2 | |
| 核發日期 | 2025年9月4日 |
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