MicroTIM fornisce un'interfaccia EtherCAT per le pompe a secco Edwards.
Per ulteriori informazioni sull'installazione e sul funzionamento dell'interfaccia, consulta il manuale di istruzioni fornito con il prodotto.
Pompa per vuoto |
Descrizione delle modifiche |
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| Nome file ESI | Pompa per vuoto Edwards.xml |
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| Firmware MicroTIM compatibile | D37363605E | |
| Profilo dispositivo comune | ETG5003-1 | |
| Numero di generazione funzionale CDP | 2 | |
| Profilo del dispositivo specifico | ETG5003-2050 | |
| Numero di generazione funzionale SDP | 2 | |
| Data di emissione | 4 settembre 2025 |
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- Roughing Pump.zip 8.2 kB, ZIP