Le MicroTIM fournit une interface EtherCAT pour les pompes sèches Edwards.
Pour plus d'informations sur l'installation et l'utilisation de l'interface, reportez-vous au manuel d'instructions fourni avec le produit.
Pompe primaire |
Description des changements |
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| Nom du fichier ESI | Pompe primaire Edwards.xml |
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| Micrologiciel MicroTIM compatible | D37363605E | |
| Profil de périphérique commun | ETG5003-1 | |
| Numéro de génération fonctionnelle du CDP | 2 | |
| Profil de périphérique spécifique | ETG5003-2050 | |
| Numéro de génération fonctionnelle du SDP | 2 | |
| Date de publication | 4 septembre 2025 |
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- Roughing Pump.zip 8.2 kB, ZIP