Ganymede Harsh-Duty droge vacuümpomp voor halfgeleidertoepassingen
NextGen droge vacuümpompen voor zware halfgeleiderprocessen, waardoor TCoO wordt verminderd, de uptime wordt verbeterd en de duurzaamheidsdoelstellingen worden ondersteund.
Geïntegreerd subfabsysteem voor EUV-lithografie dat vacuüm, waterstofverwerking en terugwinning combineert om de efficiëntie, uptime en kosten te verbeteren.
