3 cara untuk mengurangkan penggunaan tenaga dalam pembuatan semikonduktor

Neil Garland, Pengurus Produk Global, mengenai keperluan untuk mengurangkan penggunaan tenaga, sambil mengekalkan kebolehpercayaan sistem.

Adakah anda tahu bahawa kos tenaga boleh menyumbang sehingga 30% daripada bajet operasi sebuah kilang? Bergantung kepada kadar elektrik tempatan, kadar ini boleh berbeza dari satu kilang semikonduktor (atau "Fab") ke kilang yang lain, tetapi setiap syarikat dalam industri elektronik sedar bahawa tenaga adalah kos yang signifikan.

Alat pemprosesan wafer dan alat sokongan serta peralatan sokongan menyumbang hampir 50% daripada jumlah tenaga yang digunakan. Jadi setiap kWh yang dijimatkan memberi impak besar kepada keuntungan sebuah Fab.

Menjimatkan kos tenaga bukan sahaja memberi manfaat kepada bajet operasi Fab, tetapi sering kali juga merupakan matlamat korporat untuk memenuhi atau melebihi peraturan pengurangan kuasa kerajaan dan "Inisiatif Hijau". Dengan kata lain: tekanan untuk mengurangkan penggunaan tenaga tidak hanya diukur dari segi ekonomi, tetapi juga dari segi politik.

Neil Garland, Pengurus Produk Global, membincangkan bagaimana Edwards memahami keperluan untuk mengurangkan penggunaan tenaga, sambil mengekalkan kebolehpercayaan sistem.

VIDEO & TRANSKRIP

Edwards iXM - meningkatkan produktiviti dan kecekapan tenaga daripada Penyelesaian Ruang Semikonduktor

Peralatan yang tepat saiz menjimatkan tenaga sepanjang kitaran perniagaan semikonduktor.

Sebahagian besar peralatan sokongan pemprosesan wafer adalah terlalu besar dan beroperasi melebihi spesifikasi yang sebenarnya diperlukan. Selalunya pilihan ini dibuat untuk memberikan ruang kepala dan menyokong padanan ruang, bagi mengelakkan masa henti yang mahal. Adalah penting untuk membangunkan penyelesaian yang kos efektif sambil mengekalkan parameter proses yang kritikal, tetapi saiz yang berlebihan datang dengan kos.

Terdapat penyelesaian untuk mengurangkan penggunaan tenaga sistem pam anda tanpa perlu membesarkannya. Sebagai contoh, menggabungkan "peningkat jarak" pada alat semikonduktor mengurangkan keperluan kelajuan pam puncak bagi pam sokongan SubFab. Penggunaan kuasa sistem pam yang dioptimumkan ini boleh menjadi jauh lebih rendah daripada kuasa yang digunakan oleh satu pam SubFab yang terlalu besar. Selain itu, jejak peralatan yang lebih kecil menjimatkan ruang SubFab yang berharga dan mengelakkan kesan iceberg yang mahal.

Pertimbangkan suhu dan tekanan air penyejuk sistem.

Sistem pam biasanya menggunakan penyejukan air. Oleh itu, air penyejuk, aliran tekanan sistem dan suhu adalah penyumbang kos yang signifikan. Pastikan sistem pam anda direka untuk kecekapan terbaik bagi aplikasi anda, di mana air penyejuk berada hampir pada suhu ambien, dan disediakan pada tekanan yang lebih rendah. Sebarang penjimatan kos adalah kumulatif, kerana terdapat ribuan pam dalam sebuah Fab yang tipikal.

Sistem yang lebih pintar dan pemasangan yang lebih efisien

Pemasangan yang lebih bijak sering kali merupakan sistem yang lebih efisien. Sebagai contoh: kami secara berkala menggabungkan skema kawalan pemacu motor yang canggih dalam pam kami. Skema kawalan ini mencapai penarafan arus beban penuh yang dioptimumkan, sambil mengekalkan kebolehpercayaan yang tinggi. Penilaian semasa sistem pada beban penuh adalah penting untuk memilih saiz pemutus dan kabel kuasa, oleh itu skema kawalan pemacu motor pintar yang mengoptimumkan penilaian arus beban penuh meningkatkan penggunaan kuasa dan kebolehpercayaan keseluruhan sistem. Pemasangan pintar ini sangat penting semasa acara penghidupan semula yang berat, contohnya selepas gangguan kuasa yang tidak dijangka.

Adalah mitos bahawa memperbesar peralatan vakum atau pengurangan anda meningkatkan kebolehpercayaan. Dengan pengetahuan mendalam tentang parameter operasi semikonduktor yang kritikal, dan pemacu kos kemudahan Fab, kami dapat mengoptimumkan sistem pam supaya ia sangat boleh dipercayai, tanpa menentukan spesifikasi peralatan secara berlebihan. Itu akan menjimatkan kos pemasangan dan operasi.