3 spôsoby zníženia spotreby energie pri výrobe polovodičov
Vedeli ste, že náklady na energiu môžu predstavovať až 30 % prevádzkového rozpočtu továrne? V závislosti od miestnych cien elektriny sa táto sadzba môže líšiť od jednej polovodičovej továrne (alebo „Fab“) k druhej, ale každá spoločnosť v elektronickom priemysle si je vedomá toho, že energia je značná cena.
Nástroje na spracovanie doštičiek a podporné nástroje a podporné zariadenia predstavujú takmer 50 % celkovej spotreby energie. Takže každý ušetrený kWh má veľký vplyv na zisk spoločnosti Fab.
Úspora nákladov na energiu je prospešná nielen pre prevádzkový rozpočet spoločnosti Fab, ale často je aj firemným cieľom splniť alebo prekonať vládne predpisy o znížení energie a „zelené iniciatívy“. Inými slovami: tlak na zníženie spotreby energie sa meria nielen z ekonomického, ale aj z politického hľadiska.
Neil Garland, globálny produktový manažér, diskutuje o tom, ako spoločnosť Edwards chápe potrebu znížiť spotrebu energie pri zachovaní spoľahlivosti systému.
VIDEO A PREPIS
Edwards iXM – zvyšovanie produktivity a energetickej účinnosti od spoločnosti Semiconductor Chamber Solutions
Zariadenia správnej veľkosti šetria energiu počas celého obchodného cyklu polovodiča
Mnohé podporné zariadenia na spracovanie doštičiek sú nadrozmerné a pracujú nad skutočnými požadovanými špecifikáciami. Často sa táto voľba robí na zabezpečenie zhody medzi svetlou výškou a podpornou komorou, aby sa zabránilo nákladným prestojom. Je nevyhnutné vyvinúť nákladovo efektívne riešenia pri zachovaní kritických parametrov procesu, ale nadmerné rozmery prinášajú náklady.
Existujú riešenia na zníženie spotreby energie vášho čerpacieho systému bez predimenzovania. Napríklad začlenenie „proximity booster“ na polovodičovom nástroji znižuje požiadavku na maximálnu rýchlosť čerpania predčerpávacieho čerpadla SubFab. Spotreba energie tohto optimalizovaného čerpacieho systému môže byť výrazne nižšia ako spotreba energie jedného nadrozmerného čerpadla SubFab. Okrem toho zmenšený pôdorys zariadenia šetrí cenný priestor SubFab a zabraňuje nákladnému efektu ľadovca.
Zohľadnite teplotu a tlak chladiacej vody systému
Čerpacie systémy sú vo všeobecnosti chladené vodou. Výsledkom je, že chladiaca voda, prietok tlaku v systéme a teplota významne prispievajú k nákladom. Uistite sa, že váš čerpací systém je navrhnutý na čo najlepšiu účinnosť pre vašu aplikáciu, pričom chladiaca voda má blízko k teplote okolia a dodáva sa pri nižšom tlaku. Všetky úspory nákladov sú kumulatívne, pretože v typickej výrobe sú tisíce čerpadiel.
Inteligentnejšie systémy a efektívnejšie inštalácie
Inteligentnejšia inštalácia je často efektívnejší systém. Napríklad: do našich čerpadiel pravidelne začleňujeme sofistikované schémy riadenia pohonu motorov. Tieto riadiace schémy dosahujú optimalizovaný menovitý prúd pri plnom zaťažení pri zachovaní vysokej spoľahlivosti. Menovitý prúd systému pri plnom zaťažení je rozhodujúci pre výber veľkosti ističa a napájacieho kábla, preto inteligentná schéma riadenia pohonu motora optimalizáciou menovitého prúdu pri plnom zaťažení zlepšuje spotrebu energie a spoľahlivosť celého systému. Tieto inteligentné inštalácie sú obzvlášť dôležité počas reštartov v náročných podmienkach, napríklad po neočakávanom výpadku napájania.
Je mýtus, že predimenzovanie vášho vákuového alebo výfukového zariadenia zvyšuje spoľahlivosť. Vďaka dôkladným poznatkom o kritických prevádzkových parametroch polovodičov a faktoroch nákladov závodu Fab môžeme optimalizovať čerpacie systémy tak, aby boli vysoko spoľahlivé bez nadmernej špecifikácie zariadenia. Tým sa ušetria náklady na inštaláciu a prevádzku.
Neil Garland
Globálny produktový manažér
