Bomba de vacío seca de servicio intensivo Ganymede para aplicaciones en semiconductores
Bombas de vacío secas Nextgen para procesos de semiconductores de alta exigencia, que reducen el TCoO, mejoran el tiempo de actividad y apoyan los objetivos de sostenibilidad de la fábrica.
Sistema sub-fab integrado de litografía EUV que combina vacío, manejo y recuperación de hidrógeno para mejorar la eficiencia, el tiempo de actividad y el coste.
