Podporujeme produktivitu našich zákazníků
Maximalizace dostupnosti podřízené výroby
V dnešním rychle se měnícím a propojeném světě chápeme potřebu maximalizovat produktivitu našich zákazníků. Děláme to tím, že zajistíme, aby jejich technologie byly na trhu na prvním místě, a zároveň nadále usilujeme o snížení rizik a dopadů na životní prostředí, které může výrobní proces přinést.
Integrovaná řešení společnosti Edwards vyhodnocují kompletní potřeby našich zákazníků v oblasti řízení vakua a výfukových plynů na základě našich celosvětových zkušeností a s využitím nejpokročilejších technologií v tomto odvětví. Naše integrované systémy poskytují výhody opakovatelnosti produktů a služeb a úspory místa. Přinášejí vyšší produktivitu, bezpečnost a ochranu životního prostředí. Naše integrované systémy také znamenají přímé výhody rychlejší instalace a nastavení rychlosti, množstevních úspor a vyšší úrovně bezpečnosti.
Systém EZENITH nabízí pokročilé portfolio systémů, které poskytují plně integrovaná řešení správy podtlaku a výfukových plynů pro všechny aplikace s procesy polovodičů. Systémy EZENITH nabízejí jedinečné možnosti:
- Řízení vakua a výfukových plynů se zaměřením na proces
- Úplná integrace součástí
- Podpora každé funkce pomocí výkonného integrovaného řídicího rozhraní
- Navrženo pro efektivní využití prostoru – úspora až 70 %
- Úplná vnitřní distribuce, regulace a sledování služeb snižuje zapojení veřejných služeb o více než 60 % a současně zajišťuje hladký a spolehlivý provoz
Pouze s vývěvou a zařízením na snižování emisí plynů ještě nejste připraveni na provoz svého procesu. Budete muset připojit výfuk vývěvy, potřebné ohřívače potrubí, přivést vodní, čisticí a elektrické vedení a poté připravit všechny řídicí signály. Budete také muset zvážit dvojí uzavření, detekci úniku plynu a způsob provádění kontrol těsností po údržbě nástroje. Všechny tyto úkony vás stojí čas a peníze. Tomuto problému rozumíme, proto jsme vyvinuli integrovaná řešení specifická pro jednotlivé procesy.
Naše integrované systémy jsou již předem navrženy pro většinu procesů polovodičů. Ohřívače výfukových plynů jsou nastaveny na správnou teplotu, aby se minimalizovaly náklady a maximalizovala provozuschopnost. Tam, kde je to nutné, jsme umístili porty pro kontrolu těsnosti a šoupátkové ventily. Celý systém je uzavřený, a co je nejdůležitější, budete muset dodat pouze jeden z požadovaných nástrojů. Distribuujeme plyny, vodu, elektřinu a řídicí signály tam, kde jsou potřeba, a vytváříme systém připravený k provozu.