Hãy nói về các giải pháp khoang

Mỗi học sinh giỏi nên biết từ các luật khí cơ bản, áp suất và nhiệt độ của khí có liên quan trực tiếp.

Là nhà cung cấp thiết bị chân không, Edwards không chỉ cần phải là chuyên gia về áp suất chân không mà còn về kiểm soát nhiệt độ. Trong một buồng bán dẫn, nơi công việc của chúng tôi là kiểm soát áp suất dưới khí quyển, nhiệt độ là một trong những núm điều khiển có ảnh hưởng nhất.

Phạm vi nhiệt độ của các bộ xử lý trong ngành bán công nghiệp đang mở rộng ở cả hai đầu đến nhiệt độ cực cao cho khí xử lý mà bơm turbo buồng, nhưng cũng đến nhiệt độ cực thấp cho wafer và mâm cặp.

Để đưa ra ví dụ về yêu cầu nhiệt độ cao, sự kết hợp giữa lắng đọng tại chỗ và vật liệu mới có nghĩa là chúng ta phải quản lý lắng đọng trong toàn bộ hệ thống chân không. Trong các quy trình ngày nay, chúng ta cần duy trì toàn bộ đường dẫn khí thông qua nguồn bơm turbo lên trên 150 độ C. Nhiệt độ thấp làm tăng tính định hướng và chọn lọc của bộ xử lý khắc và do đó ngày nay chúng ta cần nhiệt độ wafer dưới âm 87 độ C.  

Nhưng nếu bạn cho phép các giới hạn truyền nhiệt thực tế và tính chất tỏa nhiệt của một số phản ứng, chúng ta thực sự cần nhiệt độ wafer dưới âm 110 độ hoặc thậm chí âm 120 độ c.

Bộ phận mới của Edwards được gọi là Giải pháp buồng bán dẫn. Bộ phận này bao gồm các công nghệ turbo và lạnh để mở rộng khả năng xử lý của Edwards ở cả áp suất và nhiệt độ. Đội ngũ công nghệ lõi turbo tập trung vào cách nhiệt và tối ưu hóa. Trên thực tế, họ đã phát triển một cảm biến nhiệt độ rôto động mới và cũng đang nghiên cứu các vật liệu mới, có thể đạt được nhiệt độ bơm turbo lên đến 200 và tiềm năng 300 độ C.

Trong khi đó, đội ngũ công nghệ đông lạnh của chúng tôi đang làm việc trên chu trình Joule Thomson làm lạnh hỗn hợp, có thể thực sự cung cấp năng lượng cần thiết để đạt được nhiệt độ wafer giảm 120 độ C.

Có những cách mà công nghệ turbo và công nghệ lạnh của Edwards có thể hoạt động cùng nhau. Đã biết rằng sự hiện diện của hơi nước có thể làm tăng sự hình thành hạt trong một số quy trình như mép silicon chọn lọc PVD. Tuy nhiên, trong phạm vi submillator, hơi nước là thành phần chính của môi trường buồng. Hơi nước khó bơm hơn hầu hết các loại khí. Hầu hết các phân tử khí có xu hướng nhảy ra khỏi nhau, nhảy ra khỏi thành buồng và nhảy ra khỏi cánh cửa nạp của turbo, giúp chúng đi qua turbo và ra khỏi buồng. Nhưng mức năng lượng thấp trên phân tử hơi nước có nghĩa là nó có xu hướng dính vào các bề mặt mà nó va chạm, thay vì nảy ra và do đó bơm turbo không phải là cách hiệu quả nhất để loại bỏ hơi nước.

Tuy nhiên, bơm đông lạnh không thực tế, như bơm buồng duy nhất, bởi vì nếu bơm bẫy tất cả các phân tử thì có nghĩa là bơm sẽ cần tái tạo thường xuyên, điều này chỉ có nghĩa là hiệu quả bơm không thể chấp nhận được.

Nhưng, với sự kết hợp của turbo và bơm nước, chúng tôi có một giải pháp tích hợp. Điều này thực sự có thể làm giảm áp suất một phần hơi nước, làm giảm áp suất cơ sở, điều này sẽ làm giảm số lượng hạt. Điều này có thể dẫn đến cải thiện khiếm khuyết và có thể tăng năng suất, đây là chìa khóa trong sản xuất chip.