Hệ thống thu hồi hydro mới của Edwards giúp giảm chi phí, rủi ro và tác động môi trường của in litho EUV

HRS tích hợp với bơm chân không và hệ thống xử lý của Edwards để thu hồi và tái sử dụng hầu hết (ít nhất 70%) hydro. Hệ thống này giúp giảm mức tiêu thụ và chi phí hydro ròng, giảm rủi ro tài chính và quy trình do gián đoạn cung cấp và rủi ro an toàn trong vận chuyển và phân phối hydro, đồng thời giảm tổng mức tiêu thụ năng lượng và dấu chân carbon của in litho EUV.

Chris Bailey, Phó Chủ Tịch, Công Nghệ Mới Mới tại Edwards cho biết: "Máy in litho EUV là thiết yếu trong tất cả các quy trình nút tiên tiến. "Và nó sử dụng rất nhiều hydro. Hơn nữa, mức tiêu thụ hydro của các công cụ hiện có đang tăng lên khi hiệu suất của chúng được nâng cấp và ngày càng nhiều công cụ được đưa trực tuyến mỗi ngày. Tái chế hydro cho phép các nhà sản xuất cắt giảm đáng kể các yêu cầu cung cấp, giảm cả chi phí vận hành và dễ bị gián đoạn. Cũng quan trọng như vậy, nó giúp giảm lượng khí thải carbon và mức tiêu thụ năng lượng của quy trình in litho EUV."

Hệ thống EUV sử dụng dòng hydro cao ở áp suất thấp để ngăn các chất gây ô nhiễm hạt lắng đọng trên các bề mặt quan trọng của gương được sử dụng để định hình và tập trung chiếu sáng EUV. HRS tích hợp với hệ thống chân không và xử lý chiết xuất hydro từ hệ thống in litho. Nó dẫn khí từ mô-đun nguồn EUV đến ngăn xếp thu hồi hydro và dẫn khí từ mô-đun máy quét (dòng chảy nhỏ hơn nhiều có khả năng chứa các chất gây ô nhiễm thoát khí từ đèn quang điện) đến hệ thống xử lý. Trong ngăn xếp thu hồi, khí chiết xuất được tinh chế bằng cách sử dụng quy trình kết hợp bơm điện hóa và lọc màng để thu hồi hydro có độ tinh khiết cao. HRS xác nhận độ tinh khiết của khí trước khi đưa trở lại hệ thống EUV và bao gồm việc định tuyến lại lưu lượng khí an toàn để thích ứng với những thay đổi về trạng thái của HRS hoặc hệ thống xử lý.