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愛德華的新式氫氣回收系統可降低成本、風險，以及 EUV 微影對環境的影響
全球 | 2022 年 12 月 1 日 | 15:00
愛德華的新式氫氣回收系統可降低成本、風險，以及 EUV 微影對環境的影響
愛德華作為全球半導體產業的真空與減排產品、服務和解決方案主要供應商，在今日宣布推出新式氫氣回收系統 (HRS)，以供 EUV 微影等需要龐大氫氣循環流的應用使用。
HRS 與愛德華的真空泵與減排系統相整合，藉此回收再利用大部分 (至少 70%) 的氫氣。該系統可減少淨氫氣消耗且省下成本，降低供應中斷帶來的財務與製程風險，以及氫氣運輸與分銷時的安全風險，同時縮減 EUV 微影造成的總能源消耗和碳足跡。
愛德華新興技術副總裁 Chris Bailey 表示：「EUV 微影是所有先進節點製程中不可或缺的技術，而且使用為數龐大的氫氣。此外，隨著現有工具效能升級，每天上線使用的工具與日俱增，氫氣消耗量也節節攀升。氫氣再利用可讓製造商大幅降低供應需求、省下運作成本及縮減易受波動干擾可能性。同樣重要的是，它還能減少 EUV 微影製程的碳足跡及能源消耗。」
EUV 系統使用低壓力高流量氫氣，以避免微粒汙染物沉積在塑形和聚焦 EUV 光源所用的關鍵鏡面上。HRS 整合真空和減排系統，從微影系統抽取氫氣。該系統自 EUV 光源模組導引氣體往氫氣回收機組移動，再從掃描器模組導引氣體 (這裡的氣流更小，可能含有光阻器釋出氣體的汙染物) 至減排系統。在回收機組中，利用結合電化學抽氣和膜過濾的流程淨化抽取氣體，以恢復至高純度氫氣。HRS 可在氣體回到 EUV 系統前確認其純度，並納入氣體流的故障安全重定路線，以適應 HRS 或減排系統的狀態變化。
Bailey 繼續提到：「這套系統是我們與 IMEC 的夥伴密切合作，共同推動十年的開發計畫結晶。該成果體現了我們對於『透過合作促進永續發展』的承諾。感謝 IMEC 合作夥伴的莫大貢獻。」
IMEC 晶圓工程副總裁 Vincent Nollet 指出：「HRS 安裝在我們的 300mm 試產線製程，並通過永續半導體技術暨系統計畫架構的驗證。該系統的氫氣回收能力及降低淨能源消耗與 EUV 製程範疇 3 減排的能力，都已經獲得證明。」
氫氣雖然是宇宙中最為豐富的元素，但商用供應氫氣多半是由天然氣的蒸氣重組而來，這個過程會消耗大量能源，並從重組和後續水氣變換反應兩方面，直接排放二氧化碳，以及從產生高溫/高壓蒸氣所需能量中間接排放。減少淨氫氣消耗可減少 EUV 製程造成的碳足跡。若減少需要減排的氫氣量，由於減排流程會縮減消耗的能源及排碳量，因此可進一步助長此一優勢。