VÁLLALATI INFORMÁCIÓK
Az Edwards új hidrogén-visszanyerő rendszere csökkenti az EUV litográfia költségeit, kockázatait és környezeti hatását
GLOBÁLIS | 2022. december 1. | 15:00
Az Edwards új hidrogén-visszanyerő rendszere csökkenti az EUV litográfia költségeit, kockázatait és környezeti hatását
Az Edwards, a vákuum- és gázkezelő termékek, szolgáltatások és megoldások vezető szállítója a globális félvezetőipar számára, ma bejelentette új hidrogén-visszanyerő rendszerének (HRS) kiadását olyan alkalmazásokhoz, mint az EUV litográfia, amely nagy folyamatos hidrogénáramlást igényel.
A HRS az Edwards vákuumszivattyúival és kipufogógáz-kezelő rendszereivel integrálható a hidrogén nagy részének (legalább 70%-ának) visszanyerésére és újrafelhasználására. A rendszer csökkenti a nettó hidrogénfogyasztást és -költségeket, csökkenti az ellátás megszakadása miatti pénzügyi és folyamatkockázatokat, valamint a hidrogén szállításának és elosztásának biztonsági kockázatait, továbbá csökkenti az EUV litográfia teljes energiafogyasztását és szén-dioxid lábnyomát.
„Az EUV litográfia minden fejlett csomóponti folyamatban elengedhetetlen” - mondta Chris Bailey, az Edwards feltörekvő technológiákért felelős alelnöke. "És rengeteg hidrogént használ. Ezenkívül a meglévő eszközök hidrogénfogyasztása is nő, mivel a teljesítményük javul, és naponta egyre több eszköz kerül online használatra. A hidrogén újrahasznosítása lehetővé teszi a gyártók számára, hogy drasztikusan csökkentsék az ellátási követelményeiket, csökkentve mind az üzemeltetési költségeket, mind a zavarokra való hajlamot. Ugyanilyen fontos, hogy csökkenti az EUV litográfiai folyamat szénlábnyomát és energiafogyasztását."
Az EUV rendszerek nagy hidrogénáramlást használnak alacsony nyomáson, hogy megakadályozzák a részecskeszennyeződések lerakódását az EUV megvilágítás alakításához és fókuszálásához használt tükrök kritikus felületein. A HRS integrálható a litográfiai rendszerből hidrogént kivonó vákuum- és gázkezelő rendszerekkel. A gázt az EUV forrásmodulból a hidrogén-visszanyerő kamrába irányítja, és a gázt a szkennermodulból (sokkal kisebb áramlás, amely valószínűleg a fotorezisztorból kigázosodott szennyeződéseket tartalmazza) a kipufogógáz-kezelő rendszerbe vezeti. A visszanyerő kamrában a kivont gázt olyan eljárással tisztítják, amely kombinálja az elektrokémiai szivattyúzást és a membránszűrést a nagy tisztaságú hidrogén visszanyerése érdekében. A HRS megerősíti a gáz tisztaságát, mielőtt visszajuttatja az EUV rendszerbe, és tartalmazza a gázáramlások hibamentes átirányítását, hogy alkalmazkodjon a HRS vagy a kezelőrendszer állapotának változásaihoz.
Bailey folytatta: "Ez a rendszer egy tízéves fejlesztési program eredménye, amely magában foglalta az IMEC partnereinkkel való szoros együttműködést. Ez a „fenntarthatóság az együttműködésen keresztül” iránti elkötelezettségünk megtestesítője. Köszönjük partnereinknek az IMEC-n a hatalmas hozzájárulásukat."
Vincent Nollet, az IMEC gyári mérnöki részlegének alelnöke elmondta: "A HRS-t 300 mm-es kísérleti gyártósori folyamatunkban telepítették, és a fenntartható félvezető technológiák és rendszerek programunk keretében validálták. Bizonyították hidrogén-visszanyerési képességét, valamint az EUV-folyamat nettó energiafogyasztásának és 3. körű kibocsátásának csökkentésére való képességét."
Bár a hidrogén az univerzum leggazdagabb eleme, a legtöbb kereskedelmi forgalomban kapható hidrogén termelése a földgáz gőzreformálásával történik, amely nagy mennyiségű energiát fogyaszt és szén-dioxidot bocsát ki - mind közvetlenül, mind a reformálásból és az azt követő víz-gáz átalakulási reakciókból, mind közvetve a magas hőmérsékletű/nagynyomású gőz előállításához szükséges energiaből. A nettó hidrogénfogyasztás csökkentése csökkenti az EUV-folyamat szénlábnyomát. A csökkenteni kívánt hidrogénmennyiség csökkentése tovább növeli ezt az előnyt azáltal, hogy csökkenti a kezelési folyamat során felhasznált energiát és a kibocsátott szén-dioxid mennyiségét.