KORPORÁTNÍ ZPRÁVY
Nový systém regenerace vodíku společnosti Edwards snižuje náklady, rizika a dopad litografie EUV na životní prostředí
GLOBAL | 1. prosince 2022 | 15:00
Nový systém regenerace vodíku společnosti Edwards snižuje náklady, rizika a dopad litografie EUV na životní prostředí
Společnost Edwards, přední dodavatel produktů, služeb a řešení pro vakuum a snižování emisí pro globální polovodičový průmysl, dnes oznámila uvedení na trh svého nového systému regenerace vodíku (HRS) pro aplikace, jako je například litografie EUV, které vyžadují velký nepřetržitý průtok vodíku.
Systém HRS je integrován ve vývěvách a systémech snižování emisí společnosti Edwards za účelem regenerace a opětovného využití většiny (nejméně 70 %) vodíku. Systém snižuje čistou spotřebu a náklady na vodík, omezuje finanční a procesní rizika spojená s narušením dodávek a bezpečnostní rizika hrozící při přepravě a distribuci vodíku a snižuje celkovou spotřebu energie a uhlíkovou stopu litografie EUV.
„Litografie EUV je nezbytná pro všechny pokročilé procesy uzlů,“ řekl Chris Bailey, viceprezident divize nových technologií ve společnosti Edwards. „A využívá velké množství vodíku. Kromě toho se zvyšuje spotřeba vodíku u stávajících nástrojů s tím, jak je jejich výkon upgradován, a s tím, že každý den přichází více nástrojů online. Recyklace vodíku umožňuje výrobcům dramaticky redukovat požadavky na dodávky, což snižuje provozní náklady i zranitelnost při narušení dodávek. Stejně důležité ale je, že snižuje uhlíkovou stopu a spotřebu energie v procesu litografie EUV.“
Systémy EUV využívají vysoké průtoky vodíku při nízkých tlacích k prevenci usazování znečišťujících částic na kritických površích zrcadel používaných k tvarování a zaměřování osvětlení EUV. Systém HRS je integrován ve vakuových systémech a systémech snižování emisí, které extrahují vodík z litografického systému. Směruje plyn z modulu zdroje EUV do zásobníku pro regeneraci vodíku a vede plyn z modulu skeneru (mnohem menší průtok pravděpodobně obsahující nečistoty odplyněné z fotorezistu) do systému snižování emisí. V regeneračním zásobníku se extrahovaný plyn čistí pomocí procesu, který kombinuje elektrochemické čerpání a membránovou filtraci k regeneraci vysoce čistého vodíku. Systém HRS potvrdí čistotu plynu před jeho vrácením do systému EUV a zahrnuje bezchybné přesměrování toku plynu tak, aby byl přizpůsoben změnám ve stavu systému HRS nebo systémů na snižování emisí.
Bailey dále řekl „Tento systém je výsledkem desetiletého vývojového programu, který zahrnoval úzkou spolupráci s našimi partnery ve společnosti IMEC. Je ztělesněním našeho závazku ‚udržitelnosti prostřednictvím spolupráce‘. Děkujeme našim partnerům ve společnosti IMEC za jejich obrovský přínos.“
Vincent Nollet, viceprezident divize Fab Engineering ve společnosti IMEC, řekl: „Systém HRS byl nainstalován v našem procesu 300mm pilotního vedení a byl ověřen v rámci našeho programu Sustainable Semiconductor Technologies and Systems. Byla prokázána jeho schopnost regenerovat vodík a rovněž jeho kapacita snížit čistou spotřebu energie a emise rámce 3 procesu EUV.“
Přestože je vodík nejhojnějším prvkem ve vesmíru, většina jeho komerčních dodávek se generuje parním reformingem zemního plynu, což je proces, který spotřebovává velké množství energie a emituje oxid uhličitý – jak přímo, z reformingu a následných reakcí přeměn vody a plynu, tak nepřímo z výkonu potřebného k vytvoření vysokoteplotní/vysokotlaké páry. Redukce čisté spotřeby vodíku snižuje uhlíkovou stopu procesu EUV a omezení množství vodíku, který je nutné upravit, přidává další hodnotu k tomuto přínosu snížením jakékoli spotřebované energie a emisí uhlíku během procesu snižování emisí.