NOVINKY O SPOLOČNOSTI
Nový systém na obnovu vodíka od spoločnosti Edwards znižuje náklady, riziká a vplyv EUV litografie na životné prostredie
GLOBÁLNE | 1. december 2022 | 15:00
Nový systém na obnovu vodíka od spoločnosti Edwards znižuje náklady, riziká a vplyv EUV litografie na životné prostredie
Spoločnosť Edwards, popredný dodávateľ produktov, služieb a riešení v oblasti vákua a znižovania emisií pre globálny polovodičový priemysel, dnes oznámila uvedenie svojho nového systému na obnovu vodíka (HRS) pre aplikácie, ako je EUV litografia, ktoré vyžadujú veľký nepretržitý prietok vodíka.
Zariadenie HRS možno integrovať s vákuovými čerpadlami a systémami na úpravu výfukových plynov od spoločnosti Edwards na obnovu a opätovné použitie väčšiny (najmenej 70 %) vodíka. Systém znižuje čistú spotrebu vodíka a náklady, znižuje finančné a procesné riziká vyplývajúce z prerušenia dodávky a bezpečnostné riziká prepravy a distribúcie vodíka a znižuje celkovú spotrebu energie a uhlíkovú stopu litografie EUV.
„EUV litografia je nevyhnutná vo všetkých pokročilých procesoch uzlov,“ povedal Chris Bailey, viceprezident pre nové technológie v spoločnosti Edwards. "A spotrebúva veľa vodíka. Okrem toho sa spotreba vodíka existujúcich nástrojov zvyšuje, keďže sa ich výkon zvyšuje a každý deň sa do siete pridáva viac nástrojov. Recyklácia vodíka umožňuje výrobcom dramaticky znížiť požiadavky na dodávky, čím sa znižujú prevádzkové náklady a zraniteľnosť voči prerušeniam. Rovnako dôležité je, že znižuje uhlíkovú stopu a spotrebu energie procesu EUV litografie."
Systémy EUV používajú vysoké prietoky vodíka pri nízkych tlakoch, aby sa zabránilo usadzovaniu častíc kontaminantov na kritických povrchoch zrkadiel používaných na tvarovanie a zaostrovanie osvetlenia EUV. HRS sa integruje s vákuovými a výfukovými systémami, ktoré extrahujú vodík z litografického systému. Nasmeruje plyn zo zdrojového modulu EUV do komína na regeneráciu vodíka a nasmeruje plyn z modulu skenera (oveľa menší prietok, ktorý pravdepodobne obsahuje kontaminanty odplynené z fotorezistora) do systému na úpravu výfukových plynov. V komíne na regeneráciu sa extrahovaný plyn čistí pomocou procesu, ktorý kombinuje elektrochemické čerpanie a membránovú filtráciu na regeneráciu vysoko čistého vodíka. Systém HRS potvrdzuje čistotu plynu pred jeho vrátením do systému EUV a zahŕňa bezpečné presmerovanie prietokov plynu na prispôsobenie sa zmenám stavu systému HRS alebo systémov na úpravu výfukových plynov.
Bailey pokračoval: "Tento systém je výsledkom desaťročného vývojového programu, ktorý zahŕňal úzku spoluprácu s našimi partnermi v spoločnosti IMEC. Je to stelesnenie nášho záväzku k udržateľnosti prostredníctvom spolupráce. Ďakujeme našim partnerom v IMEC za ich obrovský prínos."
Vincent Nollet, viceprezident divízie Fab Engineering spoločnosti IMEC, uviedol: "HRS bol nainštalovaný v našom procese pilotnej linky 300 mm a bol overený v rámci nášho programu udržateľných technológií a systémov pre polovodiče. Preukázala sa jej schopnosť rekuperovať vodík, ako aj jej schopnosť znížiť čistú spotrebu energie a emisie rozsahu 3 procesu EUV."
Hoci je vodík najhojnejším prvkom vo vesmíre, väčšina komerčne dodávaného vodíka sa vyrába parnou reformáciou zemného plynu, čo je proces, ktorý spotrebúva veľké množstvo energie a uvoľňuje oxid uhličitý – priamo z reformácie a následných reakcií posunu vody a plynu a nepriamo z energie potrebnej na výrobu pary pri vysokej teplote/vysokom tlaku. Zníženie čistej spotreby vodíka znižuje uhlíkovú stopu procesu EUV. Zníženie množstva vodíka, ktoré je potrebné zredukovať, ďalej prispieva k tejto výhode znížením akejkoľvek spotrebovanej energie a uhlíka emitovaného procesom znižovania.