Mais ecológico e fiável com um custo de propriedade mais baixo
A nossa gama inovadora de bombas secas oferece-lhe tecnologia de ponta concebida para melhorar o seu ambiente de fabrico de semicondutores e componentes eletrónicos.
Cada gama foi especificamente concebida para oferecer vantagens em termos de desempenho ambiental, fiabilidade em condições difíceis e agilidade em aplicações de trabalho ligeiro.
- Série iXM - baixo consumo de energia, elevado desempenho
- Série iXH para ambientes exigentes
- Série iXL para aplicações leves
As bombas secas da série iXM de baixa energia da Edwards podem trazer melhorias reais ao processo com maior tempo de atividade, impacto ambiental reduzido e benefícios de custo para as suas aplicações mais críticas.
- O mecanismo de raiz energeticamente eficiente pode reduzir a potência de entrada em até 60%, reduzindo o impacto ambiental e o custo de propriedade
- As melhorias na tecnologia de barreira de gás e no design térmico permitem uma resistência à corrosão 4 vezes superior à nossa série anterior
- As funcionalidades avançadas de manuseamento de pó proporcionam a máxima fiabilidade e uma vida útil prolongada da bomba para processos de gravação multicamadas
- Consumo de energia reduzido para processos CVD
- O design compacto e leve, combinado com ruído e vibração excecionalmente baixos, proporciona-lhe mais versatilidade
- A série iXM está disponível com tecnologia XCEDE para maior resistência à corrosão.
A gama de bombas secas iXH define novos padrões para a capacidade de processos exigentes, fiabilidade e custos de propriedade mais baixos.
- O amplo intervalo de temperatura permite-lhe otimizar a bomba para uma acumulação mínima de subprodutos da condensação e do revestimento
- As bombas secas iXH Mk2 proporcionam uma vida útil ainda mais longa nos processos mais exigentes e podem proporcionar melhorias significativas na eficiência energética
- A tecnologia inovadora de vedação da bomba pode prolongar a vida útil do processo e reduzir os riscos de fugas
- Disponível com tecnologia XCEDE para maior resistência à corrosão.
A série iXL é uma gama de bombas secas compactas de baixa energia para aplicações leves, tais como manuseamento de lâminas, PVD e metrologia.
- Esvaziamento rápido da câmara e consumo de energia extremamente baixo
- As bombas secas iXL600(N) e iXL1000(N) estão entre as bombas mais pequenas e silenciosas disponíveis para aplicações leves
- As variantes iXL600M e iXL1000M são endurecidas pelo processo e especialmente concebidas para gravação dielétrica (óxido) e outras aplicações semelhantes
- As bombas secas iXL600(N) e iXL1000(N) apresentam uma velocidade de bombeamento elevada e um baixo consumo de energia
- A iXL900R é a bomba de bloqueio de carga mais rápida atualmente disponível na sua classe para aplicações de bloqueio de carga FPD. Os clientes podem reduzir significativamente os seus custos operacionais e tempos de instalação com esta nova bomba, que é particularmente adequada para as maiores câmaras de bloqueio de carga utilizadas para aplicações de deposição de vapor de plasma (PVD). Além disso, os clientes necessitarão de menos bombas por câmara de bloqueio de carga, o que reduz o tempo de instalação, os custos de sistematização, a manutenção e o consumo de utilitários.
- Um Modo Ecológico permite uma utilização reduzida dos serviços públicos durante os períodos de inatividade, reduzindo os custos e ajudando a melhorar o seu desempenho ambiental