Daha çevreci ve daha güvenilir, daha düşük sahip olma maliyetiyle
Yenilikçi kuru pompa serimiz, yarı iletken ve elektronik üretim ortamınızı geliştirmek için tasarlanmış son teknoloji ürünü çözümler sunar.
Her seri, çevresel performansta avantaj sağlamak, zorlu koşullarda güvenilirlik sunmak ve hafif hizmet uygulamalarında çeviklik kazandırmak üzere özel olarak tasarlanmıştır.
- iXM serisi – düşük enerji kullanımı, yüksek performans
- Zorlu ortamlar için iXH serisi
- hafif hizmet uygulamaları için iXL serisi
Edwards iXM düşük enerji serisi kuru pompalar, en kritik uygulamalarınız için artan çalışma süresi, azalan çevresel etki ve maliyet avantajları ile gerçek süreç iyileştirmeleri sağlayabilir.
- Enerji verimli kök mekanizması, giriş gücünü %60'a kadar azaltarak çevresel etkiyi düşürür ve sahip olma maliyetini azaltır.
- Gaz bariyeri teknolojisi ve termal tasarım iyileştirmeleri, önceki serimize kıyasla 4 kat daha fazla korozyon direnci sağlar
- Gelişmiş toz işleme özellikleri, çok katmanlı aşındırma işlemleri için maksimum güvenilirlik ve uzatılmış pompa ömrü sağlar
- CVD işlemleri için azaltılmış güç tüketimi
- Kompakt ve hafif tasarım, olağanüstü düşük gürültü ve titreşimle birleşerek size daha fazla çok yönlülük sağlar
- iXM serisi, geliştirilmiş korozyon direnci için XCEDE teknolojisi ile sunulmaktadır.
iXH kuru pompa serisi, zorlu proses kabiliyeti, güvenilirlik ve daha düşük sahip olma maliyeti için yeni standartlar belirliyor.
- Geniş sıcaklık aralığı, kondensasyon ve kaplama sonucu oluşan yan ürün birikimini en aza indirerek pompayı optimize etmenizi sağlar.
- iXH Mk2 kuru pompalar, en zorlu proseslerde bile daha uzun hizmet ömrü sunar ve enerji verimliliğinde önemli iyileştirmeler sağlayabilir.
- Yenilikçi pompa conta teknolojisi, proses ömrünü uzatabilir ve sızıntı risklerinizi azaltabilir
- Gelişmiş korozyon direnci için XCEDE teknolojisi ile sunulmaktadır.
iXL serisi, wafer işleme, PVD ve metroloji gibi hafif görev uygulamaları için düşük enerjili kompakt kuru pompalar dizisidir.
- Hızlı hazne pompalama ve son derece düşük güç kullanımı
- iXL600(N) ve iXL1000(N) kuru pompalar, hafif görev uygulamaları için mevcut olan en küçük ve en sessiz pompalardan biridir.
- iXL600M ve iXL1000M varyantları işlem sertleştirilmiş olup dielektrik (oksit) aşındırma ve benzeri diğer uygulamalar için özel olarak tasarlanmıştır.
- iXL600(N) ve iXL1000(N) kuru pompalar, yüksek pompalama hızı ve düşük enerji tüketimi özelliklerine sahiptir.
- iXL900R, FPD yük kilidi uygulamaları için mevcut sınıfındaki en hızlı yük kilidi pompasıdır. Müşteriler, özellikle plazma buhar biriktirme (PVD) uygulamalarında kullanılan en büyük yük kilidi odalarına çok uygun olan bu yeni pompa ile işletme maliyetlerini ve kurulum sürelerini önemli ölçüde azaltabilirler. Ayrıca, müşterilerin yük kilidi odası başına daha az pompa kullanmaları gerekeceğinden, bu da kurulum süresini, sistemleşme maliyetlerini, bakım ve enerji tüketimini azaltır.
- Yeşil Mod, boşta kalma sürelerinde enerji kullanımını azaltarak maliyetleri düşürür ve çevresel performansınızı iyileştirmenize yardımcı olur.