Más ecológico y fiable con un menor coste de propiedad
Nuestra innovadora gama de bombas secas le ofrece tecnología de vanguardia diseñada para mejorar su entorno de fabricación de semiconductores y componentes electrónicos.
Cada gama se ha diseñado específicamente para ofrecer ventajas en cuanto a rendimiento medioambiental, fiabilidad en condiciones adversas y agilidad en aplicaciones de trabajo ligero.
- Serie iXM: bajo consumo de energía, alto rendimiento
- Serie iXH para entornos adversos
- Serie iXL para aplicaciones ligeras
Las bombas en seco de la serie iXM de baja energía de Edwards pueden aportar mejoras reales a los procesos con un mayor tiempo de actividad, un menor impacto medioambiental y ventajas en términos de costes para sus aplicaciones más críticas.
- El mecanismo de raíz energéticamente eficiente puede reducir la potencia de entrada hasta en un 60 %, lo que reduce el impacto medioambiental y el coste de propiedad
- La tecnología de barrera de gas y las mejoras en el diseño térmico permiten una resistencia a la corrosión 4 veces mayor que nuestra serie anterior
- Las funciones avanzadas de manipulación de polvo ofrecen la máxima fiabilidad y una vida útil prolongada de la bomba para procesos de grabado multicapa
- Reducción del consumo de energía para procesos CVD
- El diseño compacto y ligero, combinado con un nivel de ruido y vibración excepcionalmente bajo, le ofrece más versatilidad
- La serie iXM está disponible con tecnología XCEDE para una mayor resistencia a la corrosión.
La gama de bombas en seco iXH establece nuevos estándares en cuanto a capacidad de procesos exigentes, fiabilidad y menor coste de propiedad.
- El amplio rango de temperatura le permite optimizar la bomba para minimizar la acumulación de subproductos de la condensación y el recubrimiento
- Las bombas en seco iXH Mk2 ofrecen una vida útil aún más larga en los procesos más exigentes y pueden proporcionar mejoras significativas en la eficiencia energética
- La innovadora tecnología de juntas de bomba puede prolongar la vida útil del proceso y reducir los riesgos de fugas
- Disponible con tecnología XCEDE para una mayor resistencia a la corrosión.
La serie iXL es una gama de bombas secas compactas de baja energía para aplicaciones ligeras como la manipulación de láminas, PVD y metrología.
- Vaciado rápido de la cámara y consumo de energía extremadamente bajo
- Las bombas en seco iXL600(N) e iXL1000(N) se encuentran entre las bombas más pequeñas y silenciosas disponibles para aplicaciones ligeras
- Las variantes iXL600M e iXL1000M están endurecidas por proceso y especialmente diseñadas para el grabado dieléctrico (óxido) y otras aplicaciones similares
- Las bombas en seco iXL600(N) e iXL1000(N) ofrecen una alta velocidad de bombeo y un bajo consumo de energía
- La iXL900R es la bomba de bloqueo de carga más rápida disponible actualmente en su clase para aplicaciones de bloqueo de carga FPD. Los clientes pueden reducir significativamente sus costes operativos y tiempos de instalación con esta nueva bomba, que es especialmente adecuada para las cámaras de bloqueo de carga más grandes utilizadas para aplicaciones de deposición de vapor de plasma (PVD). Además, los clientes necesitarán menos bombas por cámara de esclusa de carga, lo que reducirá el tiempo de instalación, los costes de sistematización, el mantenimiento y el consumo de servicios públicos.
- Un modo ecológico permite reducir el uso de servicios públicos durante los periodos de inactividad, lo que reduce los costes y ayuda a mejorar el rendimiento medioambiental