Lebih hijau dan lebih boleh dipercayai dengan kos pemilikan yang lebih rendah
Rangkaian pam kering inovatif kami membawa teknologi terkini yang direka untuk meningkatkan persekitaran pembuatan semikonduktor dan elektronik anda.
Setiap julat telah direka khusus untuk memberikan kelebihan dalam prestasi alam sekitar, kebolehpercayaan dalam keadaan yang keras dan kelincahan dalam aplikasi tugas ringan.
- Siri iXM – penggunaan tenaga rendah, prestasi tinggi
- Siri iXH untuk persekitaran yang keras
- Siri iXL untuk aplikasi tugas ringan
Pam kering siri tenaga rendah Edwards iXM boleh membawa peningkatan proses sebenar dengan masa operasi yang lebih lama, pengurangan impak alam sekitar dan manfaat kos untuk aplikasi paling kritikal anda.
- Mekanisme akar cekap tenaga boleh mengurangkan kuasa input sehingga 60%, mengurangkan impak alam sekitar dan menurunkan kos pemilikan
- Teknologi penghalang gas dan penambahbaikan reka bentuk terma membolehkan ketahanan kakisan 4 kali ganda lebih tinggi berbanding siri kami sebelum ini
- Ciri pengendalian serbuk maju memberikan kebolehpercayaan maksimum dan hayat pam yang dipanjangkan untuk proses etsa berlapis-lapis
- Pengurangan penggunaan tenaga untuk proses CVD
- Reka bentuk yang padat dan ringan, digabungkan dengan bunyi dan getaran yang sangat rendah, memberikan anda lebih banyak kepelbagaian.
- Siri iXM tersedia dengan teknologi XCEDE untuk ketahanan kakisan yang dipertingkatkan.
Julat pam kering iXH menetapkan piawaian baru untuk keupayaan proses yang keras, kebolehpercayaan dan kos pemilikan yang lebih rendah.
- Julat suhu yang luas membolehkan anda mengoptimumkan pam untuk pengumpulan hasil sampingan yang minimum daripada kondensasi dan pelapisan.
- Pam kering iXH Mk2 memberikan jangka hayat perkhidmatan yang lebih lama walaupun dalam proses yang paling keras dan boleh memberikan peningkatan ketara dalam kecekapan kuasa
- Teknologi meterai pam inovatif dapat memanjangkan jangka hayat proses dan mengurangkan risiko kebocoran anda
- Tersedia dengan teknologi XCEDE untuk ketahanan kakisan yang dipertingkatkan.
Siri iXL adalah rangkaian pam kering kompak tenaga rendah untuk aplikasi tugas ringan seperti pengendalian wafer, PVD, dan metrologi.
- Pam ruang cepat dan penggunaan kuasa yang sangat rendah
- Pam kering iXL600(N) dan iXL1000(N) adalah antara pam terkecil dan paling senyap yang tersedia untuk aplikasi tugas ringan
- Varian iXL600M dan iXL1000M telah dikeraskan melalui proses dan direka khas untuk etsa dielektrik (oksida) dan aplikasi serupa lain.
- Pam kering iXL600(N) dan iXL1000(N) menampilkan kelajuan pam yang tinggi dan penggunaan tenaga yang rendah
- iXL900R adalah pam loadlock terpantas yang kini tersedia dalam kelasnya untuk aplikasi loadlock FPD. Pelanggan dapat mengurangkan kos operasi dan masa pemasangan dengan ketara menggunakan pam baru ini, yang sangat sesuai untuk ruang loadlock terbesar yang digunakan untuk aplikasi pemendapan wap plasma (PVD). Selain itu, pelanggan akan memerlukan lebih sedikit pam bagi setiap ruang loadlock, yang mengurangkan masa pemasangan, kos sistemisasi, penyelenggaraan, dan penggunaan utiliti.
- Mod Hijau membolehkan penggunaan utiliti dikurangkan semasa tempoh tidak aktif, mengurangkan kos dan membantu meningkatkan prestasi alam sekitar anda