Your browser is not supported

더 이상 지원하지 않는 브라우저를 사용하고 있습니다. 저희 웹 사이트를 계속 방문하려면 다음 지원되는 브라우저 중 하나를 선택하십시오.

활성 게이지 및 컨트롤러

활성 전환형 마그네트론 게이지

Edwards의 검증된 기술이 적용된 게이지를 원하는 공정에 맞춰 선택해보세요.

영국의 Edwards 생산 시설은 수십 년 동안 진공 측정기를 만들고 설계해 왔습니다. 이러한 경험을 바탕으로 패키지 크기가 25% 감소되었고 성능이 저하되지 않는 새로운 게이지 시리즈를 개발할 수 있었습니다.

LED 조명 링 시각적 압력 표시기 및 설정점 릴레이를 비롯한 다양한 업그레이드 및 기능 향상 기능을 통해 다양한 노킹 동작을 트리거할 수 있습니다.

고급 게이지 생성:

 

 

활성 피라니 게이지

활성 피라니 게이지(APG200)는 작아진 크기와 출력을 활용할 수 있는 분석 장비부터 새로운 인터페이스 및 조명 링이 시스템 유지보수를 향상하는 반도체, 현지 압력 표시가 주요 인터페이스에서 멀리 떨어진 실험을 모니터링하는 데 도움이 되는 연구 개발에 이르기까지 모든 진공 시장에 적합합니다. 

  • 360° LED 조명 링 압력 표시기
  • 컴팩트한 크기
  • 긴 필라멘트
  • 통합 필터*
  • 호환 가능한 드롭인
  • 15-48V 전원 공급 장치의 넓은 범위 전력
  • 디지털/아날로그
  • 설정점 릴레이

* 필터 없는 버전 사용 가능

Edwards APG200 게이지

활성 피라니 게이지(APG)

APG200 활성 피라니 게이지 - 분해 조립도
APG200 active pirani gauge - exploding view thumbnail
APG200 활성 피라니 게이지 - 분해 조립도
0:11
APG200 active pirani gauge - LED light ring thumbnail
APG200 활성 피라니 게이지 - LED 조명 링
0:20
APG200 active pirani gauge - rotational view thumbnail
APG200 활성 피라니 게이지 - 회전 뷰
0:12

활성 전환형 마그네트론 게이지

Edwards 활성 전환형 마그네트론 게이지(AIM)

활성 전환형 마그네트론 게이지(AIM)

활성 전환형 마그네트론(AIM200) 게이지는 1 x 10-2 ~ 1 x 10-9mbar의 진공 범위에서 정확한 측정을 제공합니다. 이 게이지는 과학 기기부터 산업 공정에 이르기까지 다양한 분야에서 견고하고 신뢰할 수 있습니다.

AIM200 게이지는 하나의 소형 장치로 결합된 전환형 마그네트론 게이지 헤드 및 게이지 컨트롤러입니다. 또한 매우 낮은 외부 자기장과 개선된 타격식 메커니즘을 갖추고 있어 민감한 분석 기기 또는 민감한 장비 근처에 게이지를 장착해야 하는 응용 분야에 적합합니다.

  • 360° LED 조명 링 압력 표시기
  • 작은 설치 면적
  • 멀티포인트 스타 스트라이커
  • 외부 컨트롤러가 필요하지 않습니다.
  • 사용 가능한 드라이버
  • 호환 가능한 드롭인
  • 15-48V 전원 공급 장치의 넓은 범위 전력
  • 새 자석
  • 설정점 릴레이
  • C-클램프와 호환되는 버전
활성 전환형 마그네트론 AIM200 - 분해 조립도
Active Inverted Magnetron AIM200  - Exploding view thumbnail
활성 전환형 마그네트론 AIM200 - 분해 조립도
0:11
Active Inverted Magnetron AIM200  - Rotational view thumbnail
활성 전환형 마그네트론 AIM200 - 회전 뷰
0:13
Active Inverted Magnetron AIM200  - LED Light Ring Visual Pressure Indicator view thumbnail
활성 전환형 마그네트론 AIM200 - LED 조명 링 시각적 압력 표시기 보기
0:27

광범위 게이지 냉음극/피라니

광범위 게이지(WRG200)는 초기 챔버 펌프 다운뿐만 아니라 공정 압력 모두를 하나로 포함하는 10-9mbar 범위의 대기 범위에서 단일 포트 압력 측정 기능을 제공합니다.

WRG200 게이지는 최신 필라멘트 피라니 및 냉음극 기술을 활용하는 과학 기기부터 반도체 및 산업 공정에 이르기까지 광범위한 분야에서 견고하고 신뢰할 수 있습니다. WRG는 일체형 게이지로, 거친 진공 센서에서 높은 진공 센서로 자동 전환되는 이점을 제공하며 주변 환경에 방해가 되지 않도록 자기장이 낮습니다.

  • 360° LED 조명 링 압력 표시기
  • 작은 설치 면적
  • 필라멘트 기술
  • 외부 컨트롤러가 필요하지 않습니다.
  • 사용 가능한 드라이버
  • 호환 가능한 드롭인
  • 15-48V 전원 공급 장치의 넓은 범위 전력
  • 새 자석
  • 설정점 릴레이
  • C-클램프와 호환되는 버전
Edwards 광범위 게이지 냉음극/피라니(WRG)

광범위 게이지 냉음극/피라니(WRG)

원래 게이지 생성:

활성 선형 대류 진공 게이지(APGX-H)

활성 선형 대류 진공 게이지(APGX-H)

활성 선형 대류 진공 게이지

활성 선형 대류 진공 게이지(APGX-H)의 측정 범위는 1333 ~ 3 x 10-4mbar입니다. 대류 기술의 사용으로 정확성과 감도가 100mbar 이상의 정확도를 상실하는 기존 피라니 게이지와 비교하여 최고 수준의 압력 범위로 유지됩니다. 게이지는 컴팩트하며 어떤 방향으로든 장착할 수 있어 공간이 제한된 곳에 간단하게 설치할 수 있습니다.

활성 이온 게이지

활성 이온 게이지(AIGX)는 이중 yttria 코팅 이리듐 필라멘트가 있는 소형 활성 이온 게이지로, 6.6 x 10-2 ~ 6.6 x 10-10mbar의 광범위한 측정 범위 및 1V/10 선형 출력을 제공합니다. AIGX는 업계 표준 활성 계측 개념의 모든 장점을 통합 전자 장치 및 교체식 튜브와 통합합니다. 게이지에는 가스 제거 기능이 있으며 필라멘트 수명을 보호하고 연장하는 기능이 포함되어 있습니다. AIGX는 매우 적은 전하 입자의 배출로 인해 이점이 있기 때문에 배경 소음이 바람직하지 않은 공정에 매우 적합합니다.

Edwards 광범위 게이지(WRG)

활성 이온 게이지(AIGX)

Edwards 활성 열음극 광범위 게이지(WRH)

활성 열음극 광범위 게이지(WRH)

활성 열음극 광범위 게이지

활성 열음극 광범위 게이지(WRH)는 단일 게이지를 통해 대기로부터 10-10mbar까지 정확도와 반복성을 통해 측정할 수 있는 기능을 제공합니다. WRH 게이지는 하나의 패키지로 두 가지 측정 방법(Bayard-Alpert 및 피라니)을 활용하여 시스템을 측정하고 제어하는 데 필요한 모든 것을 제공합니다. D-SUB 커넥터를 통해 아날로그 및 RS485 출력을 사용할 수 있으며, 2개의 온보드 릴레이와 손쉬운 보정, 제어 및 모니터링이 간편합니다.

포함된 소프트웨어를 사용하면 시스템 성능을 쉽게 추적 및 기록하고 설정점 설정 또는 출력 배율 변경 등의 게이지 동작을 조정할 수 있습니다. 이 게이지는 R&D 연구소부터 고급 질량 분석법, 일반 산업에 이르기까지 다양한 분야에서 사용할 수 있는 완벽한 동반자입니다.

시스템을 맞춤 구성할 수 있는 유연성:

특정 요구 사항이 있는 공정에서 필요에 맞는 올바른 게이지를 사용할 수 있도록 여러 가지 게이지 유형을 제공할 수 있습니다. 

표준 및 부식 방지 모델로 제공되는 견고한 APG200 피라니 게이지에서 대기 상태에서 1 x 10­4mbar까지 측정하며, WRG 냉음극/피라니 조합 게이지는 대기 상태에서 1 x 10-9mbar까지 측정합니다.

컨트롤러 – 로컬 시스템 디스플레이 및 제어

  • 상용 솔루션을 원하는 경우 ADC 제품군을 통해 기본 싱글/듀얼 헤드 게이지 디스플레이를 제공합니다. 
  • 더 많은 연결 및 제어를 원하는 고객을 위해 TIC 제품군을 보유하고 있습니다. 이 기능은 최대 6개의 게이지 헤드를 제어하고 RS232 인터페이스/설정 지점 출력을 통해 시스템에서 다른 작업을 트리거할 수 있습니다. 
  • 소형 건식 펌프와 nEXT 터보 분자 펌프를 제어할 수 있는 변형 모델을 조합해 소형 시스템을 만들 수 있습니다.

활성 게이지 제품군

주요 기능 개요

  • 범용 컨트롤러: 각 컨트롤러는 활성 게이지 유형의 혼합을 제어할 수 있습니다.
  • 보정: 모든 게이지는 추가 보정 인증서와 함께 구매할 수 있습니다. 
  • 서비스: 대부분의 공정에 공구가 필요 없어 각 게이지에 대한 간단한 서비스 절차

Edwards 제품의 작업 영상을 확인하세요!

Edwards 고객 후기

AIM200 Active Inverted Magnetron Gauge - Datasheet

PDF

952.7 kB

WRG200 Active Wide Range Gauge - Datasheet

PDF

2.5 MB

WRH Active Hot Cathode Pirani Gauge - Datasheet

PDF

407.2 kB

TIC Turbo and Instrument controller - Datasheet

PDF

610.5 kB

TEST - AIM200 Active Inverted Magnetron Gauge - Datasheet

PDF

952.8 kB

복도에서 웃으며 서 있는 Edwards 직원들
SERVICE SOLUTIONS

Read more on our offerings in Service Solutions