챔버 솔루션에 관하여
낮은 진동 및 제로 유지보수
제로 유지보수를 통한 일관되고 신뢰할 수 있는 성능이 필요할 때 Edwards의 터보 분자 펌프가 새로운 기준을 제시합니다. 로터(rotor)는 자석 베어링에 의한 자기 부상 상태로, 높은 업타임, 탄화수소 없는 펌핑, 최소한의 정비와 진동이 요구되는 민감한 공정에 적합한 솔루션입니다.
낮은 진동 및 제로 유지보수
제로 유지보수를 통한 일관되고 신뢰할 수 있는 성능이 필요할 때 Edwards의 터보 분자 펌프가 새로운 기준을 제시합니다. 로터(rotor)는 자석 베어링에 의한 자기 부상 상태로, 높은 업타임, 탄화수소 없는 펌핑, 최소한의 정비와 진동이 요구되는 민감한 공정에 적합한 솔루션입니다.
