SPACE PERFORMANCE<br>

半導体産業が進歩し続けるにつれ、ファブスペースのコストは急騰しており、メーカーは、利用可能なスペースでツール数を最大化しようとしています。従来、サブファブの機器は、上記のファブから予測されるツールの設置面積内に収まることが求められていました。真空ポンプの物理的なサイズがポンプ容量に直接関連しているため、ポンプの小型化の要求と、より高い容量と速度の必要性との間に矛盾が生じ、これが課題となっています。

このような需要の高まりに応えるため、Ganymedeは、従来のポンプよりも30%小型化され、性能を損なうことなくスペースを確保したいと考えるサブファブマネジャーに画期的なソリューションを提供しています。Ganymedeは、ポンプの設置面積を縮小することで、メーカーが貴重なファブの不動産を活用できるようにし、同じスペース内でより多くのツールを統合できるようにします。

Ganymedeの設置面積縮小の主な利点：

•スループットの向上：Ganymedeのコンパクトな設計により、スペースをより効率的に使用できるため、より多くのツールをファブに追加して、スループットと生産性を向上させることができます

•CO2排出量の削減：Ganymedeの小型化と性能の向上は、エネルギー消費の削減に貢献し、メーカーが二酸化炭素排出量を削減し、持続可能性の目標を達成できるように支援します

•メンテナンス効率：Ganymedeは、小型でも容易に整備できるように設計されているため、スタック型やコンパクト型のシステムによくある複雑な作業を必要とせずに、迅速かつ安全にメンテナンス作業を完了できます。

省スペースのメリット

ツールサイズの縮小に対応するために、真空ポンプの設置面積を20%～30%縮小する必要があります。Ganymedeはこの課題に正面から対応し、スペースを節約できるだけでなく、最高レベルの性能を維持するために必要なポンプ容量と速度を提供するソリューションを提供します。

性能とスペースの使用の両方を最適化したいと考えるサブファブマネジャーのために、Ganymedeは、今日の半導体製造環境の要求に適合する次世代ソリューションを提供しています。

Ganymedeの省スペースの利点と、それがスループットの向上とCO2排出量の削減にどのように役立つかをご確認ください。