A vákuumrendszerek biztosítják a félvezetők gyártásához használt legtöbb rendszer folyamatkamráiban szükséges tiszta vákuumkörnyezetet. A szivattyúk és a kipufogógáz-kezelő rendszerek rutinszerű karbantartást igényelnek a kopott vagy szennyezett alkatrészek tisztítása vagy cseréje érdekében a nehéz üzemi körülmények között. Bár a harmadik féltől származó alkatrészek és szervizszolgáltatók alacsonyabb áron kaphatók, az OEM alkatrészek és a gyári szervizszolgáltatók helyett való használatuk jelentősen megnövelheti a rendszer élettartamára fordított költségeket, és veszélyeztetheti a megbízhatóságot és a teljesítményt.

A teljes birtoklási költség (Total Cost of Ownership, TCOO), amely a beszerzési árat a rendszer élettartama alatt felmerülő üzemeltetési költségekkel (az alkatrészeket és a karbantartást is beleértve) kombinálja, a leggyakrabban használt mérőszám a félvezetőgyártásban a berendezés költségeinek értékeléséhez, és sokkal jobban tükrözi az értéket, mint a beszerzési ár önmagában. A TCoO az a szabvány, amely alapján végső soron a legtöbb berendezést (és a szervezeten belüli berendezéstulajdonosokat) értékelik.

A nem eredeti alkatrészek gyakran nem nyújtják azokat az előnyöket, amelyeket az eredeti berendezésgyártó (OEM) a teljesítmény és a megbízhatóság javítására fektetett be. Ennek eredményeként a nem eredeti gyári alkatrészek és szolgáltatások rejtett költségekkel járnak, amelyek nem nyilvánvalóak hosszú ideig az alkatrész beszerelése és a szervizelés befejezése után.

A nem eredeti berendezésgyártó (OEM) alkatrészek és szolgáltatások használata a legnagyobb kockázatot jelenti a termelékenységvesztés, a sérült technológiai berendezések és a nem tervezett leállásokkal és a nem megfelelő kibocsátás-ellenőrzéssel járó munkavégzési hulladékok miatt. Nincs olyan hely, ahol a penny-wise és font-foolish elleni figyelmeztetés alkalmazhatóbb lenne, mint a félvezetőgyártóknál. A katasztrofális vákuummeghibásodásból eredő potenciális veszteségek messze meghaladják az eredeti alkatrészekért fizetett prémium árat.

Talán jobban, mint bármely más iparág, a félvezetőgyártás értéke a konzisztens és megbízható teljesítmény. Ne legyenek meglepetések - gyorsan sok pénzbe kerülhetnek. Rendszereinket úgy építjük, hogy tartósak legyenek, de ugyanolyan fontos, hogy tudjuk, hogyan és mikor fognak leginkább meghibásodni. Tudjuk, hogyan kell őket diagnosztizálni, és hogyan lehet a leggyorsabban kijavítani. Sok esetben a beépített diagnosztika figyeli a kritikus paramétereket, hogy előrejelezze az alkatrészek hátralévő élettartamát. Ezekkel az információkkal maximalizálhatjuk a szervizintervallumokat, és minimalizálhatjuk a nem tervezett leállások kockázatát. 

Ha eredeti Edwards alkatrészeket vásárol, több évtizedes tapasztalatot és szakértelmet szerez a félvezetők gyári gyártásában. Az Edwards több mint negyed évvel ezelőtt vezette be az első vákuumberendezést, és azóta több tízezer szivattyút telepített a félvezetőgyárakban világszerte. Bármilyen alkalmazásról legyen is szó, valószínűleg már láttuk, vagy valami közeliről. Ismerjük a csapdákat, és azt, hogyan kerülhetjük el őket. Széleskörű tudásbázist tartunk fenn, amely számos alkalmazásban tartalmazza a teljesítmény optimalizálására szolgáló ismert legjobb gyakorlatokat. Folyamatosan keressük és találjuk meg a módszereket rendszereink fejlesztésére. És ha találtunk egy jobb megoldást, az új alkatrész tartalmazni fogja.

A szabályozási környezet egyre összetettebbé válik, mivel a gyártók reagálnak a közösségi biztonsággal, a vízfelhasználással, az energiamegtakarítással, az üvegházhatású gázok kibocsátásával és egyebekkel kapcsolatos aggályokra. Minden helyinek megvannak a sajátos aggályai. Globális tapasztalatunk széles körű ismereteket biztosít az általános követelményekről, és szakértőink készen állnak arra, hogy szorosan együttműködjenek a helyi hatóságokkal.  

Azzal, hogy az Edwards szolgáltatásait igénybe veszi, hosszú távú támogatást nyújt termékei számára, beleértve a folyamatos szoftverfrissítéseket, a műszaki segítségnyújtást és a termékspecialistákhoz való hozzáférést, még a kezdeti javítás befejezése után is. A harmadik féltől származó alkatrészek és szolgáltatók használata megnehezítheti és költségesebbé teheti a későbbi diagnosztikát és javítást. Az eredeti alkatrészek és a gyári szervizszemélyzet gondoskodik arról, hogy a garancia érvényes maradjon.