Unsere innovative Auswahl an trockenlaufenden Pumpen liefert Ihnen modernste Technologie, die darauf ausgelegt ist, Ihre Halbleiter- und Elektronikfertigung zu verbessern. Bei der Entwicklung jeder Baureihe wurde darauf geachtet, dass die Pumpen Vorteile bei der Umweltleistung, aber auch Zuverlässigkeit unter rauen Bedingungen sowie Agilität bei leichten Anwendungen bieten.
Die trockenlaufenden Pumpen der iXM-Baureihe mit geringem Energieverbrauch können echte Prozessverbesserungen bei Ihren wichtigsten Anwendungen bringen: Sie glänzen mit erhöhter Betriebszeit, verringerten Umweltauswirkungen und Kostenvorteilen.
Die iXH-Baureihe trockenlaufender Pumpen setzt neue Maßstäbe im Hinblick auf die Prozessfähigkeit in rauen Betriebsumgebungen, Zuverlässigkeit und Senkung der Betriebskosten.
Bei der iXL-Reihe handelt es sich um eine Baureihe von energiesparenden kompakten trockenlaufenden Pumpen für leichte Anwendungen wie Wafer-Handling, PVD und Messtechnik.
