Bardziej ekologiczne i niezawodne przy niższym koszcie posiadania
Nasza innowacyjna oferta pomp suchych oferuje najnowocześniejszą technologię zaprojektowaną z myślą o usprawnieniu środowiska produkcji półprzewodników i elektroniki.
Każda seria została specjalnie zaprojektowana, aby zapewnić korzyści w zakresie ochrony środowiska, niezawodności w trudnych warunkach i zwrotności w zastosowaniach lekkich.
- Seria iXM - niskie zużycie energii, wysoka wydajność
- Seria iXH do trudnych warunków
- Seria iXL do lekkich zastosowań
Seria suchych pomp iXM firmy Edwards o niskim zużyciu energii może przynieść rzeczywiste usprawnienia procesów dzięki wydłużonemu czasowi sprawnego działania, mniejszemu wpływowi na środowisko i oszczędnościom kosztów w najbardziej krytycznych zastosowaniach.
- Energooszczędny mechanizm korzeniowy może zmniejszyć moc wejściową nawet o 60%, zmniejszając wpływ na środowisko i obniżając koszty posiadania
- Technologia bariery gazowej i udoskonalenia konstrukcji termicznej zapewniają 4 razy większą odporność na korozję niż nasza poprzednia seria
- Zaawansowane funkcje obsługi proszku zapewniają maksymalną niezawodność i dłuższą żywotność pompy w procesach wielowarstwowego trawienia
- Mniejsze zużycie energii w procesach CVD
- Kompaktowa i lekka konstrukcja w połączeniu z wyjątkowo niskim poziomem hałasu i drgań zapewnia większą wszechstronność
- Seria iXM jest dostępna z technologią XCEDE zapewniającą zwiększoną odporność na korozję.
Seria pomp suchych iXH wyznacza nowe standardy wydajności w trudnych warunkach, niezawodności i niższych kosztów eksploatacji.
- Szeroki zakres temperatur umożliwia optymalizację pompy w celu zminimalizowania gromadzenia się produktów ubocznych z kondensacji i powlekania
- Suche pompy iXH Mk2 zapewniają jeszcze dłuższą żywotność w najtrudniejszych procesach i mogą znacznie poprawić efektywność energetyczną
- Innowacyjna technologia uszczelnienia pompy może wydłużyć żywotność procesu i zmniejszyć ryzyko wycieków
- Dostępne z technologią XCEDE zapewniającą lepszą odporność na korozję.
Seria iXL to seria niskoenergetycznych, kompaktowych pomp suchych przeznaczonych do lekkich zastosowań, takich jak obsługa płytek, PVD i metrologia.
- Szybkie opróżnianie komory i bardzo niskie zużycie energii
- Pompy suche iXL600(N) i iXL1000(N) należą do najmniejszych i najcichszych pomp dostępnych do zastosowań o niewielkich obciążeniach
- Wersje iXL600M i iXL1000M są utwardzane technologicznie i zaprojektowane specjalnie do trawienia dielektrycznego (tlenkowego) i innych podobnych zastosowań
- Suche pompy iXL600(N) i iXL1000(N) charakteryzują się wysoką prędkością pompowania i niskim zużyciem energii
- Pompa iXL900R to najszybsza pompa śluzowa dostępna obecnie w swojej klasie do zastosowań śluzowych FPD. Klienci mogą znacznie zmniejszyć koszty eksploatacji i czas instalacji dzięki tej nowej pompie, która szczególnie dobrze nadaje się do największych komór śluzowych używanych w zastosowaniach PVD. Ponadto klienci będą potrzebować mniej pomp na komorę śluzy, co zmniejsza czas instalacji, koszty systematyzacji, konserwację i zużycie mediów.
- Tryb ekologiczny umożliwia zmniejszenie zużycia mediów w okresach przestoju, obniżając koszty i przyczyniając się do poprawy wydajności środowiskowej