Your browser is not supported

Používáte prohlížeč, který již není podporován. Chcete-li nadále navštěvovat naše webové stránky, vyberte si jeden z následujících podporovaných prohlížečů.

Suchoběžné vývěvy iX

Ekologičtější, spolehlivější a s nižšími náklady na vlastnictví

  • Řada iXM – nízká spotřeba energie, vysoký výkon
  • Řada iXH pro náročná prostředí
  • Řada iXL pro lehký provoz
Řada iXM – nízká spotřeba energie, vysoký výkon

Nízkoenergetické suché vývěvy řady iXM od společnosti Edwards mohou zefektivnit výrobní procesy, a to díky delší provozuschopnosti, nižšímu dopadu na životní prostředí a snížení nákladů na nejkritičtější aplikace.

  • Pomocí energeticky úsporného Rootsova mechanismu lze snížit příkon až o 60 %, což zapříčiní také omezení dopadu na životní prostředí a snížení nákladů na vlastnictví
  • Technologie plynové bariéry a vylepšení v oblasti tepelné konstrukce zajišťují 4krát vyšší odolnost proti korozi oproti našim předchozím řadám
  • Pokročilé funkce manipulace s práškem zajišťují maximální spolehlivost a delší životnost čerpadla pro procesy leptání více vrstev 
  • Nižší spotřeba energie pro procesy CVD
  • Zvyšuje všestrannost díky kompaktnímu a lehkému provedení, které se vyznačuje mimořádně nízkou hlučností a vibracemi
  • Řada iXM je k dispozici s technologií XCEDE, která zvyšuje odolnost proti korozi.

     
Edwards iXM dry pump front and angled view side cover removed
Řada iXH pro náročná prostředí

Řada suchých vývěv iXH stanovuje nové standardy výkonnosti při náročném provozu, spolehlivosti a nízkých nákladů na vlastnictví

  • Díky širokému teplotnímu rozsahu lze výkon čerpadel optimalizovat, aby nedocházelo k nadbytečnému hromadění vedlejšího produktu při kondenzaci nebo pokovování
  • Suché vývěvy iXH Mk2 poskytují ještě vyšší životnost v těch nejnáročnějších podmínkách a mohou také podstatně vylepšit energetickou účinnost
  • Inovativní technologie těsnění vývěv může prodloužit životnost a snížit riziko úniku
  • K dispozici s technologií XCEDE, která posiluje odolnost proti korozi

     
Edwards iXH semiconductor dry pumps
Řada iXL pro lehký provoz

Řada nízkoenergetických kompaktních suchých vývěv iXL je určená pro lehký provoz a může být využita například při manipulaci s destičkami polovodičů, fyzikální depozici z plynné fáze (PVD) nebo metrologii.

  • Rychlé odsátí komory a mimořádně nízká spotřeba energie 
  • Suché vývěvy iXL600(N) a iXL1000(N) patří mezi nejmenší a nejtišší vývěvy, které jsou v dnešní době pro lehký provoz k dispozici 
  • Vývěvy iXL600M a iXL1000M jsou ozkoušené v praxi a zkonstruované pro použití při dielektrickém (oxidačním) leptání a podobných aplikacích 
  • Vývěvy iXL600(N) a iXL1000(N) jsou vybaveny vysokou rychlostí odsávání a nízkou spotřebou energie
  • Vývěva iXL900R je nejrychlejší vývěva pro "loadlock" FPD aplikace ve své třídě. Tato nová vývěva, která zákazníkům umožní výrazně snížit provozní náklady a dobu instalace, je vhodná zejména do největších "loadlock" komor, v nichž probíhá fyzikální depozice z plynné fáze (PVD). Zákazníci navíc do každé "loadlock" komory budou potřebovat menší množství vývěv, což sníží dobu instalace, náklady na systemizaci a údržbu a spotřebu energie.
  • Pomocí ekologického režimu lze omezit použití vývěv během chodu naprázdno, což má za následek snížení nákladů a podpoření výkonu v oblasti ochrany životního prostředí

Nízkoenergetické suché vývěvy řady iXM od společnosti Edwards mohou zefektivnit výrobní procesy, a to díky delší provozuschopnosti, nižšímu dopadu na životní prostředí a snížení nákladů na nejkritičtější aplikace.

  • Pomocí energeticky úsporného Rootsova mechanismu lze snížit příkon až o 60 %, což zapříčiní také omezení dopadu na životní prostředí a snížení nákladů na vlastnictví
  • Technologie plynové bariéry a vylepšení v oblasti tepelné konstrukce zajišťují 4krát vyšší odolnost proti korozi oproti našim předchozím řadám
  • Pokročilé funkce manipulace s práškem zajišťují maximální spolehlivost a delší životnost čerpadla pro procesy leptání více vrstev 
  • Nižší spotřeba energie pro procesy CVD
  • Zvyšuje všestrannost díky kompaktnímu a lehkému provedení, které se vyznačuje mimořádně nízkou hlučností a vibracemi
  • Řada iXM je k dispozici s technologií XCEDE, která zvyšuje odolnost proti korozi.

     
Edwards iXM dry pump front and angled view side cover removed

Řada suchých vývěv iXH stanovuje nové standardy výkonnosti při náročném provozu, spolehlivosti a nízkých nákladů na vlastnictví

  • Díky širokému teplotnímu rozsahu lze výkon čerpadel optimalizovat, aby nedocházelo k nadbytečnému hromadění vedlejšího produktu při kondenzaci nebo pokovování
  • Suché vývěvy iXH Mk2 poskytují ještě vyšší životnost v těch nejnáročnějších podmínkách a mohou také podstatně vylepšit energetickou účinnost
  • Inovativní technologie těsnění vývěv může prodloužit životnost a snížit riziko úniku
  • K dispozici s technologií XCEDE, která posiluje odolnost proti korozi

     
Edwards iXH semiconductor dry pumps

Řada nízkoenergetických kompaktních suchých vývěv iXL je určená pro lehký provoz a může být využita například při manipulaci s destičkami polovodičů, fyzikální depozici z plynné fáze (PVD) nebo metrologii.

  • Rychlé odsátí komory a mimořádně nízká spotřeba energie 
  • Suché vývěvy iXL600(N) a iXL1000(N) patří mezi nejmenší a nejtišší vývěvy, které jsou v dnešní době pro lehký provoz k dispozici 
  • Vývěvy iXL600M a iXL1000M jsou ozkoušené v praxi a zkonstruované pro použití při dielektrickém (oxidačním) leptání a podobných aplikacích 
  • Vývěvy iXL600(N) a iXL1000(N) jsou vybaveny vysokou rychlostí odsávání a nízkou spotřebou energie
  • Vývěva iXL900R je nejrychlejší vývěva pro "loadlock" FPD aplikace ve své třídě. Tato nová vývěva, která zákazníkům umožní výrazně snížit provozní náklady a dobu instalace, je vhodná zejména do největších "loadlock" komor, v nichž probíhá fyzikální depozice z plynné fáze (PVD). Zákazníci navíc do každé "loadlock" komory budou potřebovat menší množství vývěv, což sníží dobu instalace, náklady na systemizaci a údržbu a spotřebu energie.
  • Pomocí ekologického režimu lze omezit použití vývěv během chodu naprázdno, což má za následek snížení nákladů a podpoření výkonu v oblasti ochrany životního prostředí

Přečtěte si více o tom, jak společnost Edwards Vacuum přispívá k udržitelnosti.

DALŠÍ INFORMACE

Zjistěte více o našich nabídkách v části Řešení v oblasti služeb