Zöldebb és megbízhatóbb, alacsonyabb fenntartási költségekkel
Innovatív szárazszivattyú-termékcsaládunk élvonalbeli technológiát kínál a félvezető- és elektronikai gyártási környezet javítására.
Mindegyik termékcsaládot kifejezetten úgy terveztük meg, hogy előnyöket nyújtson a környezeti teljesítmény, a megbízhatóság zord körülmények között és a mozgékonyság terén a könnyű igénybevételt jelentő alkalmazásokban.
- iXM sorozat - alacsony energiafogyasztás, nagy teljesítmény
- iXH sorozat zord környezetekhez
- iXL sorozat kis igénybevételű alkalmazásokhoz
Az Edwards iXM alacsony energiafogyasztású szárazszivattyú-sorozata valódi folyamatfejlesztéseket tesz lehetővé a legkritikusabb alkalmazások esetében, növelve az üzemidőt, csökkentve a környezeti hatást és költségelőnyöket biztosítva.
- Az energiahatékony Roots mechanizmus akár 60%-kal is csökkentheti a bemeneti teljesítményt, csökkentve ezzel a környezeti hatást és a tulajdonlási költségeket
- A gázzáró technológia és a termikus kialakítás javításai 4-szer nagyobb korrózióállóságot tesznek lehetővé, mint az előző sorozatunk
- A fejlett porkezelési funkciók maximális megbízhatóságot és meghosszabbított szivattyúélettartamot biztosítanak a többrétegű maratási folyamatokhoz
- Csökkentett energiafogyasztás a CVD folyamatokhoz
- A kompakt és könnyű kialakítás, valamint a kivételesen alacsony zaj- és rezgésszint nagyobb sokoldalúságot biztosít
- Az iXM sorozat XCEDE technológiával is elérhető a fokozott korrózióállóság érdekében.
Az iXH szárazszivattyú-termékcsalád új mércét állít fel a nagy igénybevételt jelentő folyamatokhoz való képesség, a megbízhatóság és az alacsonyabb üzemeltetési költségek terén.
- A széles hőmérséklet-tartomány lehetővé teszi a szivattyú optimalizálását a kondenzáció és a bevonatolás melléktermékeinek minimális felhalmozódása érdekében
- Az iXH Mk2 száraz szivattyúk még hosszabb élettartamot biztosítanak a legzordabb folyamatokban, és jelentősen javíthatják az energiahatékonyságot
- Az innovatív szivattyútömítés-technológia meghosszabbíthatja a folyamat élettartamát és csökkentheti a szivárgás kockázatát
- Rendelkezésre áll XCEDE technológiával a fokozott korrózióállóság érdekében.
Az iXL sorozat alacsony energiaigényű, kompakt száraz szivattyúk könnyű alkalmazásokhoz, például lapkakezelő, PVD és metrológiai alkalmazásokhoz.
- Gyors kamraleszivattyúzás és rendkívül alacsony energiafogyasztás
- Az iXL600(N) és az iXL1000(N) szárazszivattyúk a legkisebb és legcsendesebb szivattyúk közé tartoznak a könnyű üzemű alkalmazásokhoz
- Az iXL600M és iXL1000M változatok folyamatedzettek, és kifejezetten dielektromos (oxid) maratáshoz és egyéb hasonló alkalmazásokhoz készültek
- Az iXL600(N) és iXL1000(N) szárazszivattyúk nagy szivattyúzási sebességgel és alacsony energiafogyasztással rendelkeznek
- Az iXL900R a kategóriájában jelenleg elérhető leggyorsabb zsilipszivattyú FPD zsilipfunkciós alkalmazásokhoz. Az ügyfelek jelentősen csökkenthetik üzemeltetési költségeiket és telepítési idejüket ezzel az új szivattyúval, amely különösen alkalmas a plazma gőzbevonatolási (PVD) alkalmazásokhoz használt legnagyobb zsilipkamrákhoz. Ezenkívül az ügyfeleknek kevesebb szivattyúra lesz szükségük zsilipkamránként, ami csökkenti a telepítési időt, a rendszerezési költségeket, a karbantartást és a közműfogyasztást.
- A Zöld üzemmód csökkenti a közműhasználatot az állásidők alatt, csökkenti a költségeket és segít javítani a környezeti teljesítményt