เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมมากขึ้นและเชื่อถือได้มากขึ้นด้วยต้นทุนการเป็นเจ้าของที่ต่ําลง
กลุ่มผลิตภัณฑ์ปั๊มแห้งที่ทันสมัยของเรานําเสนอเทคโนโลยีล้ําสมัยที่ออกแบบมาเพื่อปรับปรุงสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ของคุณ
แต่ละรุ่นได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อมอบข้อได้เปรียบในด้านประสิทธิภาพด้านสิ่งแวดล้อม ความน่าเชื่อถือในสภาพแวดล้อมที่สมบุกสมบัน และความคล่องตัวในการใช้งานที่มีน้ําหนักเบา
- ซีรี่ส์ iXM - ใช้พลังงานต่ํา ประสิทธิภาพสูง
- ซีรีส์ iXH สําหรับสภาพแวดล้อมที่สมบุกสมบัน
- ซีรี่ส์ iXL สําหรับการใช้งานแบบเบา
ปั๊มแห้งซีรี่ส์ iXM ที่ใช้พลังงานต่ําของ Edwards สามารถนําเสนอการปรับปรุงกระบวนการที่แท้จริงด้วยเวลาทํางานที่เพิ่มขึ้น ผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อมที่ลดลง และประโยชน์ด้านต้นทุนสําหรับการใช้งานที่สําคัญที่สุดของคุณ
- กลไกรากประหยัดพลังงานสามารถลดกําลังอินพุตได้ถึง 60% ลดผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อมและลดต้นทุนการเป็นเจ้าของ
- เทคโนโลยีกั้นก๊าซและการปรับปรุงการออกแบบทางความร้อนช่วยให้มีความต้านทานการกัดกร่อนมากกว่าซีรี่ส์ก่อนหน้าของเราถึง 4 เท่า
- คุณสมบัติการจัดการผงขั้นสูงให้ความน่าเชื่อถือสูงสุดและอายุการใช้งานปั๊มที่ยาวนานขึ้นสําหรับกระบวนการกัดกร่อนหลายชั้น
- ลดการใช้พลังงานสําหรับกระบวนการ CVD
- การออกแบบที่กะทัดรัดและน้ําหนักเบา ผสานกับเสียงรบกวนและการสั่นสะเทือนต่ําเป็นพิเศษ ช่วยให้คุณใช้งานได้อเนกประสงค์มากขึ้น
- ซีรี่ส์ iXM มีเทคโนโลยี XCEDE เพื่อเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อน
กลุ่มผลิตภัณฑ์ปั๊มแห้ง iXH กําหนดมาตรฐานใหม่สําหรับความสามารถในกระบวนการที่สมบุกสมบัน ความน่าเชื่อถือ และต้นทุนการเป็นเจ้าของที่ต่ําลง
- ช่วงอุณหภูมิที่กว้างช่วยให้คุณสามารถปรับปั๊มให้เหมาะสมที่สุดเพื่อลดการสะสมของผลพลอยได้จากการควบแน่นและการชุบ
- ปั๊มแห้ง iXH Mk2 ให้อายุการใช้งานที่ยาวนานยิ่งขึ้นในกระบวนการที่หนักหน่วงที่สุด และสามารถปรับปรุงประสิทธิภาพด้านพลังงานได้อย่างมาก
- เทคโนโลยีซีลปั๊มที่เป็นนวัตกรรมใหม่สามารถยืดอายุการใช้งานของกระบวนการและลดความเสี่ยงในการรั่วไหลของคุณ
- มีให้เลือกใช้กับเทคโนโลยี XCEDE เพื่อเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อน
ซีรี่ส์ iXL เป็นกลุ่มผลิตภัณฑ์ปั๊มแห้งขนาดกะทัดรัดที่ใช้พลังงานต่ําสําหรับการใช้งานที่มีน้ําหนักเบา เช่น การจัดการแผ่นชิพ PVD และมาตรวิทยา
- การปั๊มลมห้องอบอย่างรวดเร็วและการใช้พลังงานต่ํามาก
- ปั๊มแห้งรุ่น iXL600(N) และ iXL1000(N) เป็นหนึ่งในปั๊มที่มีขนาดเล็กที่สุดและเงียบที่สุดสําหรับการใช้งานแบบเบา
- รุ่น iXL600M และ iXL1000M ได้รับการชุบแข็งในกระบวนการและออกแบบมาเป็นพิเศษสําหรับการกัดเซาะอิเล็กโทรไลต์ (ออกไซด์) และการใช้งานที่คล้ายกันอื่นๆ
- ปั๊มแห้ง iXL600(N) และ iXL1000(N) มีความเร็วในการปั๊มสูงและใช้พลังงานต่ํา
- iXL900R เป็นปั๊มล็อกโหลดที่รวดเร็วที่สุดในปัจจุบันสําหรับการใช้งานล็อกโหลด FPD ลูกค้าสามารถลดค่าใช้จ่ายในการดําเนินงานและเวลาในการติดตั้งลงได้อย่างมากด้วยปั๊มรุ่นใหม่นี้ ซึ่งเหมาะอย่างยิ่งสําหรับห้อง Loadlock ที่ใหญ่ที่สุดที่ใช้สําหรับการสะสมไอพลาสมา (PVD) นอกจากนี้ ลูกค้ายังจําเป็นต้องใช้ปั๊มน้อยลงต่อห้องล็อกโหลด ซึ่งช่วยลดเวลาในการติดตั้ง ต้นทุนการสร้างระบบ การบํารุงรักษา และการใช้สาธารณูปโภค
- Green Mode ช่วยลดการใช้สาธารณูปโภคในช่วงเวลาที่เครื่องไม่ทํางาน ลดต้นทุน และช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพด้านสิ่งแวดล้อมของคุณ