Xanh hơn và đáng tin cậy hơn với chi phí sở hữu thấp hơn
Dòng bơm khô sáng tạo của chúng tôi mang đến cho bạn công nghệ tiên tiến được thiết kế để nâng cao môi trường sản xuất chất bán dẫn và thiết bị điện tử của bạn.
Mỗi dòng sản phẩm đều được thiết kế đặc biệt để mang lại lợi thế về hiệu suất môi trường, độ tin cậy trong điều kiện khắc nghiệt và tính linh hoạt trong các ứng dụng hạng nhẹ.
- Dòng iXM - sử dụng năng lượng thấp, hiệu suất cao
- Dòng iXH dành cho môi trường khắc nghiệt
- Dòng iXL dành cho các ứng dụng hạng nhẹ
Bơm khô dòng iXM năng lượng thấp của Edwards có thể mang lại những cải tiến quy trình thực tế với thời gian hoạt động tăng, tác động môi trường giảm và lợi ích về chi phí cho các ứng dụng quan trọng nhất của bạn.
- Cơ chế rễ tiết kiệm năng lượng có thể giảm công suất đầu vào lên đến 60%, giảm tác động đến môi trường và giảm chi phí sở hữu
- Công nghệ rào cản khí và cải tiến thiết kế nhiệt cho phép khả năng chống ăn mòn cao gấp 4 lần so với dòng trước của chúng tôi
- Các tính năng xử lý bột tiên tiến mang lại độ tin cậy tối đa và tuổi thọ bơm kéo dài cho các quy trình khắc nhiều lớp
- Giảm tiêu thụ điện năng cho các quy trình CVD
- Thiết kế nhỏ gọn và nhẹ, kết hợp với độ ồn và độ rung cực thấp, mang lại cho bạn tính linh hoạt cao hơn
- Dòng sản phẩm iXM có công nghệ XCEDE để tăng cường khả năng chống ăn mòn.
Dòng bơm khô iXH thiết lập các tiêu chuẩn mới về khả năng xử lý khắc nghiệt, độ tin cậy và chi phí sở hữu thấp hơn.
- Phạm vi nhiệt độ rộng cho phép bạn tối ưu hóa bơm để tối thiểu hóa sự tích tụ phụ phẩm từ ngưng tụ và mạ
- Bơm khô iXH Mk2 cung cấp tuổi thọ lâu hơn nữa trong các quy trình khắc nghiệt nhất và có thể cải thiện đáng kể hiệu quả năng lượng
- Công nghệ gioăng bơm sáng tạo có thể kéo dài tuổi thọ quy trình và giảm rủi ro rò rỉ
- Có sẵn với công nghệ XCEDE để tăng khả năng chống ăn mòn.
Dòng sản phẩm iXL là dòng bơm khô nhỏ gọn năng lượng thấp dành cho các ứng dụng hạng nhẹ như xử lý wafer, PVD và đo lường.
- Bơm buồng nhanh chóng và tiêu thụ điện năng cực thấp
- Bơm khô iXL600(N) và iXL1000(N) là một trong những bơm nhỏ nhất và yên tĩnh nhất hiện có cho các ứng dụng hạng nhẹ
- Các biến thể iXL600M và iXL1000M được làm cứng trong quy trình và được thiết kế đặc biệt để khắc điện môi (oxit) và các ứng dụng tương tự khác
- Bơm khô iXL600(N) và iXL1000(N) có tốc độ bơm cao và tiêu thụ năng lượng thấp
- iXL900R là bơm khóa tải nhanh nhất hiện có trong loại cho các ứng dụng khóa tải FPD. Khách hàng có thể giảm đáng kể chi phí vận hành và thời gian lắp đặt với máy bơm mới này, đặc biệt phù hợp với các buồng khóa tải lớn nhất được sử dụng cho các ứng dụng lắng đọng hơi plasma (PVD). Ngoài ra, khách hàng sẽ cần ít bơm hơn cho mỗi buồng khóa tải, giúp giảm thời gian lắp đặt, chi phí hệ thống hóa, bảo trì và tiêu thụ tiện ích.
- Chế độ xanh cho phép giảm sử dụng tiện ích trong thời gian không hoạt động, giảm chi phí và giúp cải thiện hiệu suất môi trường của bạn