El MicroTIM proporciona una interfaz EtherCAT para las bombas en seco de Edwards.
Para obtener más información sobre la instalación y el funcionamiento de la interfaz, consulte el manual de instrucciones suministrado con el producto.
Bomba de vacío preliminar |
Descripción de la modificación |
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| Nombre de archivo ESI | Bomba de vacío preliminar Edwards.xml |
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| Firmware MicroTIM compatible | D37363605E | |
| Perfil de dispositivo común | ETG5003-1 | |
| Número de generación funcional de CDP | 3.5 | |
| Perfil de dispositivo específico | ETG5003-2050 | |
| Número de generación funcional de SDP | 3.5 | |
| Fecha de publicación | 4 de septiembre de 2025 |
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- Roughing Pump.zip 8.2 kB, ZIP