MicroTIM cung cấp giao diện EtherCAT cho bơm khô Edwards.
Để biết thêm thông tin về việc lắp đặt và vận hành giao diện, vui lòng tham khảo hướng dẫn sử dụng đi kèm với sản phẩm.
Bơm cấp điện |
Mô tả thay đổi |
|
| Tên tệp ESI | Bơm thô Edwards.xml |
|
| Phần sụn MicroTIM tương thích | D37363605E | |
| Hồ sơ thiết bị chung | ETG5003-1 | |
| Số thế hệ chức năng CDP | 2 | |
| Hồ sơ thiết bị cụ thể | ETG5003-2050 | |
| Số thế hệ chức năng SDP | 2 | |
| Ngày phát hành | Ngày 4 tháng 9 năm 2025 |
|
- Roughing Pump.zip 8.2 kB, ZIP