TĂNG NĂNG SUẤT ĐỒNG THỜI GIẢM CHI PHÍ VÀ TÁC ĐỘNG ĐẾN MÔI TRƯỜNG
Là một phần của quy trình cải tiến liên tục, chúng tôi thiết kế các bản nâng cấp để giúp khách hàng cải thiện hiệu suất của máy móc, giảm chi phí sở hữu và đạt được mục tiêu bền vững của họ.
- Bảo vệ hiệu suất thiết bị
- Giảm thiểu tổng chi phí sở hữu
- Bảo vệ môi trường
BẢO VỆ HIỆU SUẤT THIẾT BỊ
Nâng cấp được thiết kế để cải thiện hiệu suất máy và tăng năng suất hoạt động của bạn
Nâng cấp giảm hạt trên dụng cụ cho bơm turbo Maglev
Trong sứ mệnh liên tục cải thiện năng suất và năng suất của khách hàng, chúng tôi đã thiết kế một loạt các giải pháp cho phép khách hàng giảm nhiễm bẩn hạt trên wafer trong các ứng dụng bán dẫn bằng cách sử dụng ba công nghệ trên dụng cụ, Công nghệ chống va đập, Nắp chụp rôto và sử dụng Bơm nhiệt độ cao.
Công nghệ chống va chạm
Trong quá trình sản xuất, các hạt có thể lùi lại từ bơm tuabin vào buồng, có khả năng làm nhiễm bẩn wafer và làm giảm năng suất. Công nghệ chống va đập của chúng tôi làm giảm đáng kể sự nhiễm bẩn hạt bằng cách cho phép chúng dễ dàng đi qua bơm turbo vào khí xả.
Nắp chụp rôto
Để ngăn ngừa ăn mòn và tích tụ các hạt trên ổ cắm rôto (ở đầu vào của bơm turbo), chúng tôi đã phát triển Nắp ổ cắm rôto chống ăn mòn ngăn cả sự hình thành cặn lắng và ăn mòn các bộ phận bằng thép không gỉ.
Bơm nhiệt độ cao
Một nguồn nhiễm bẩn hạt khác đến từ sự lắng đọng bên trong bơm turbo, điều này cũng có thể cho phép các hạt di chuyển trở lại qua bơm turbo và vào buồng. Bằng cách sử dụng Bơm Nhiệt độ Cao, đường dẫn khí được làm nóng lên đến nhiệt độ cực cao, làm giảm sự hình thành cặn. Các bơm này có lớp phủ đặc biệt có khả năng phát xạ nhiệt cao trên các bộ phận chân không chính, chẳng hạn như rôto và stator, và hồ sơ nhiệt độ của chúng được tối ưu hóa liên tục cho kết quả tốt nhất.
Cả ba công nghệ giảm thiểu hạt có thể được lắp đặt trong quá trình bảo trì bơm thường xuyên tại Trung tâm Công nghệ Dịch vụ của chúng tôi để đảm bảo khách hàng có thể tối ưu hóa năng suất cho thiết bị mới và cơ sở lắp đặt hiện tại của họ.
Cải thiện năng suất bán dẫn với Nâng cấp bơm EUV
Trong ngành sản xuất chất bán dẫn cạnh tranh, tối đa hóa năng suất đồng thời quản lý chi phí năng lượng trong các cơ sở sản xuất là điều rất quan trọng. Nâng cấp bơm khô EUV của chúng tôi được thiết kế để nâng cao đáng kể hiệu suất thiết bị của bạn, đảm bảo cải thiện năng suất chất bán dẫn tối ưu. Bằng cách tích hợp các dịch vụ thiết bị chất bán dẫn tiên tiến, các nâng cấp của chúng tôi không chỉ tăng năng suất trong sản xuất chất bán dẫn mà còn góp phần tiết kiệm năng lượng đáng kể. Phương pháp tiếp cận toàn diện này để cải thiện năng suất trong các quy trình bán dẫn đảm bảo rằng cơ sở sản xuất của bạn hoạt động với hiệu quả cao nhất.
Bảo vệ bơm khô XCEDE cho các quy trình sản xuất khắc nghiệt
Công nghệ bảo vệ bơm khô của XCEDE ngăn ngừa ăn mòn các bộ phận bơm quan trọng và tăng thời gian giữa các khoảng thời gian bảo trì, tối đa hóa thời gian hoạt động của khách hàng. Công nghệ này vượt trội hơn tất cả các phương pháp cạnh tranh bằng cách sử dụng sự kết hợp phức tạp của xử lý bề mặt và kỹ thuật chính xác để giảm hao mòn hóa học và cơ học trong cơ chế bơm cho các dòng bơm iH, iXH và iXM của Edwards.
GIẢM THIỂU TỔNG CHI PHÍ SỞ HỮU
Các bản nâng cấp được thiết kế để tăng thời gian giữa các lần bảo trì và tăng hiệu quả của đội ngũ thiết bị của bạn để giảm Tổng Chi phí Sở hữu.
Đầu xốp xử lý
Edwards đã phát triển đầu xốp, một bản nâng cấp dịch vụ tại chỗ sử dụng khối kim loại thiêu kết, xốp, phân phối đều khí xả trên bề mặt để giảm nguy cơ tích tụ bột. Nó thay thế đầu cách điện gốm truyền thống.
Trong quá trình xử lý, chất rắn, thường là bột, có thể tích tụ ở các khu vực không mong muốn của hệ thống, chẳng hạn như mặt dưới của đầu vào. Sự tích tụ bột này dẫn đến tắc nghẽn ngăn chặn dòng khí quy trình, gây ra các can thiệp bảo trì theo kế hoạch thường xuyên. Trong một năm hoạt động nghiêm ngặt, sự tích tụ bột này có thể gây ra hơn chín lần gián đoạn dịch vụ dẫn đến tăng chi phí sở hữu thông qua việc sử dụng lao động và phụ tùng thay thế.
Khách hàng sử dụng bản nâng cấp đầu xốp đã chuyển từ khoảng thời gian bảo dưỡng mười lần mỗi năm sang trung bình chỉ hai lần. Điều này đã loại bỏ thời gian ngừng hoạt động trung bình 64 giờ mỗi năm cho khách hàng không có hệ thống xử lý dự phòng, dẫn đến công suất bổ sung $1,5 triệu.
Khách hàng có hệ thống khử khí dự phòng thấy tiết kiệm đáng kể về phụ tùng thay thế, nhân công bảo trì và tăng hiệu quả năng lượng bằng cách giảm sự phụ thuộc vào hệ thống dự phòng.
Dịch vụ khách hàng
Đội xe có máy móc đã được sử dụng hơn năm năm có nguy cơ hỏng hóc bất ngờ trong các thiết bị điện tử quan trọng của họ bất kể hiệu suất cơ học của chúng, chủ yếu được duy trì bởi các chế độ bảo trì hiệu quả.
Giải pháp Life Services của Edwards là một lựa chọn tuyệt vời để làm mới máy móc và kéo dài tuổi thọ của đội xe của bạn. Life Services bao gồm tất cả các bộ phận điện tử chính của hệ thống với bảo hành mở rộng, giúp thiết bị của bạn hoạt động trong nhiều năm tới.
Life Services có sẵn thông qua mạng lưới Trung tâm Công nghệ Dịch vụ toàn cầu của chúng tôi.
CẢI THIỆN MÔI TRƯỜNG
Nâng cấp được thiết kế để tăng tuổi thọ của đội ngũ thiết bị và tác động môi trường của nó để giúp bạn đạt được mục tiêu bền vững.
Giảm chi phí năng lượng trong sản xuất với các nâng cấp tiết kiệm năng lượng của chúng tôi
Nâng cấp bơm khô Edwards này của iXH1210 là một thay thế dễ dàng, không có công việc bổ sung cho các nhóm tại chỗ và không mất thời gian ngừng hoạt động trong quá trình nâng cấp.
Nó cung cấp gần một phần ba chi phí năng lượng để vận hành và giúp giảm thiểu tác động môi trường của bạn, bằng cách tiết kiệm nhiều khí thải carbon hơn, góp phần vào mục tiêu môi trường của bạn. Không có gì ngạc nhiên khi chúng tôi gọi đó là nâng cấp tiết kiệm năng lượng.
Bây giờ hãy tưởng tượng nhân những con số đó với số lượng bơm có thể được nâng cấp trong nhà máy của bạn?
Ngoài ra, còn có lợi ích bổ sung là khách hàng của chúng tôi không cần lên kế hoạch vốn cho bơm mới, vì việc nâng cấp có thể đạt được thông qua quy trình nâng cấp Dịch vụ thông minh của Edwards.
Nâng cấp bơm tiết kiệm năng lượng EUV
Trong sản xuất chất bán dẫn, tính bền vững ngày càng trở nên quan trọng. Nâng cấp bơm khô EUV của chúng tôi được thiết kế để hỗ trợ tính bền vững bằng cách giảm đáng kể mức tiêu thụ năng lượng trong các quy trình EUV và mức tiêu thụ năng lượng EUV. Bằng cách nâng cấp bơm, bạn có thể tối ưu hóa hiệu suất năng lượng của quy trình, đạt được tiết kiệm năng lượng đáng kể đồng thời tăng năng suất.
Tìm hiểu thêm về tiết kiệm năng lượng EUV trong câu chuyện thành công của khách hàng dưới đây:
Bộ trao đổi nhiệt
Nhiễm bẩn nước làm mát trên toàn nhà máy là một rủi ro do hệ thống xử lý không có lịch trình bảo trì nghiêm ngặt. Trong nhiều hệ thống, bộ trao đổi nhiệt dễ bị hư hỏng do ăn mòn do hóa chất axit trong quy trình có thể gây rò rỉ vào nước làm mát quy trình của nhà máy. Nhiễm bẩn này có thể làm hỏng các dụng cụ xử lý khác sử dụng cùng mạch nước làm mát. Nó cũng gây rủi ro cho môi trường vì nó rất nguy hiểm khi thải bỏ.
Bộ dụng cụ nâng cấp dịch vụ trao đổi nhiệt tại chỗ là một giải pháp hiệu quả để chuyển đổi bộ trao đổi nhiệt hàn hiện có thành thiết kế tấm và đệm mới, mà không cần sửa đổi đáng kể hệ thống. Nó cung cấp khả năng chống axit tốt hơn so với thiết bị trao đổi nhiệt ban đầu, tăng tuổi thọ sử dụng khoảng năm đến mười lần và giảm nguy cơ nhiễm bẩn nước làm mát Fab.
Liner Pro: Nâng cấp đầu đốt thế hệ tiếp theo
Các nhà máy sản xuất chất bán dẫn chịu áp lực liên tục để giảm nguy cơ ngừng hoạt động ngoài dự kiến, kiểm soát chi phí bảo trì và cải thiện hiệu quả hoạt động. Liner Pro là một máng lót xử lý mạnh mẽ được thiết kế để giải quyết những thách thức lặp đi lặp lại của việc bảo trì máng lót đầu đốt trong các hệ thống xử lý. Giờ đây, nó cũng là một thành phần có thể tái sử dụng để hỗ trợ các nỗ lực bền vững của bạn. Bằng cách tích hợp Liner Pro vào kế hoạch dịch vụ, bạn có thể hợp lý hóa hoạt động, giảm tổng chi phí sở hữu và duy trì hiệu suất cao trong các quy trình đòi hỏi khắt khe.
