Proteus

Новый стандарт в области нейтрализации парниковых газов

Система Proteus от компании Edwards

Система Proteus отличается низким энергопотреблением, удобна в эксплуатации и представляет собой экономически эффективное решение для снижения уровня выбросов парниковых газов при производстве полупроводников.


  • Высокоэффективная плазменная технология с низким энергопотреблением
  • Функция регулирования мощности плазменного воздействия
  • Низкий уровень выбросов NOx
  • Длительная работа без обслуживания
  • Непрерывная защита с помощью Proteus Dual

  1. Уникальная плазменная технология с низким энергопотреблением обеспечивает высокую эффективность разрушения и обезвреживания (DRE) фторсодержащих газов, таких как CF4, и других парниковых газов, например SF6, NF3 и N2O. Это делает систему Proteus одним из наиболее экономически выгодных решений для нейтрализации парниковых газов при производстве полупроводников.
  2. Мощность плазменного воздействия в системе Proteus точно регулируется в зависимости от входящего потока газа, что позволяет минимизировать энергопотребление, обеспечивая при этом оптимальную эффективность очистки. Возможность сопряжения с технологическим оборудованием и функции автоматической регулировки мощности плазменного воздействия позволяют достигнуть высокой экологичности при небольших эксплуатационных расходах.
  3. Для очистки PFC-газов необходима высокая температура, которая способствует образованию газов группы NOx. Плазменная технология сокращает выбросы газов NOx, которые образуются в результате термических реакций. Система Proteus относится к числу передовых устройств для очистки PFC-газов с низким уровнем выбросов газов группы NOx.
  4. Разложение молекул PFC часто приводит к увеличению содержания кислоты за счет образования токсичных и агрессивных соединений, которые растворяются в воде. Плазменная горелка и мокрая очистка газа в системе Proteus разработаны таким образом, чтобы свести к минимуму коррозию компонентов. Отличаясь превосходными возможностями для работы с порошковыми веществами и не требуя частого обслуживания, Proteus обеспечивает безопасные условия труда на предприятии.
  5. Proteus Dual —это полностью интегрированное решение с резервированием, обеспечивающее эксплуатационную готовность очистной системы без использования сложных трубопроводов и средств сопряжения. Система Proteus Dual экономически выгодна и проста в установке. Она гарантирует непрерывность технологического процесса, имеет небольшие габариты, требует меньших затрат на монтаж и при этом способствует повышению безопасности в подразделениях предприятия.

    Проконсультируйтесь со специалистами Edwards о том, как использовать возможности системы Proteus для достижения целевых показателей экологичности.