On-Board® IS Cryopumps Edwards

Prestasi vakum yang tiada tandingan dan kecekapan tenaga

Sistem cryopump Edwards CTI-Cryogenics memanfaatkan teknologi inovatif dan berkecekapan tinggi untuk memberikan prestasi vakum yang tiada tandingan dan kecekapan tenaga.

Sistem kawalan teragih yang dipatenkan memantau dan sentiasa menyesuaikan elemen individu sistem cryopump untuk mengekalkan prestasi vakum sistem yang optimum bagi konsistensi proses yang luar biasa. Pam kriogenik IS di atas kapal memberikan waktu operasi tertinggi, produktiviti terbaik, dan kos pemilikan keseluruhan terendah bagi mana-mana sistem pam kriogenik yang tersedia hari ini, disokong oleh rangkaian perkhidmatan dan sokongan global Edwards yang sangat responsif.

Ciri Utama

Sistem kawalan teragih yang dipatenkan memantau dan sentiasa menyesuaikan elemen individu sistem cryopump.
Menjaga prestasi vakum sistem secara optimum, memberikan konsistensi proses yang luar biasa.
Regenerasi terpantas dalam konfigurasi pam tunggal dan multi-pam
Penggunaan tenaga dan air penyejuk yang rendah tanpa mengorbankan prestasi vakum.
Integrasi sistem yang mudah
Pemasangan pengeluaran cepat
Pemantauan jarak jauh yang dipertingkatkan untuk penyelenggaraan pencegahan dan ramalan.

IS 320FX Cryopump
IS XP

Pam Cryo On-Board® IS 320FX, yang dibangunkan khusus untuk menangani cabaran proses Implan Ion hari ini, menyediakan kelajuan dan kapasiti pam hidrogen yang dipertingkatkan, sambil mengekalkan kualiti, prestasi dan kebolehpercayaan yang anda harapkan.

Direka khusus untuk aplikasi Ion Implant
Dioptimumkan untuk aliran alat
Teknologi "menyesuaikan diri" yang pintar
Kos pemilikan yang lebih rendah
Meningkatkan masa operasi

Pam Cryopump On-Board® IS XP memberikan kapasiti yang lebih tinggi untuk aplikasi PVD bagi mencapai produktiviti maksimum sambil mengekalkan ketelusan proses. Pada masa yang sama, ia memanfaatkan kecekapan tenaga yang terbukti, prestasi yang konsisten dan kos pemilikan yang rendah yang telah anda jangkakan daripada On-Board® IS.