Bersih dan boleh dipercayai
Pam Cryopump Cryo-Torr CTI-Cryogenics Edwards menetapkan piawaian.
Dengan kos operasi yang rendah dan penyelenggaraan yang cepat serta mudah, pam kriogenik ini memberikan kebolehpercayaan yang tinggi dan prestasi yang menguntungkan disokong oleh perkhidmatan responsif yang boleh anda harapkan. Untuk fleksibiliti tambahan, anda boleh menambah kawalan tersuai dan periferal sokongan anda sendiri untuk memenuhi keperluan aplikasi khusus anda.
Ciri Utama
- Memberikan kos operasi yang rendah
- Penyelenggaraan yang cepat dan mudah
- Kebolehpercayaan yang tinggi
- Prestasi akhir
| Model Pam Cryo-Torr | 8 | 8F | 10 | 10F | 400 | ||
| Konfigurasi | Lurus | Rata | Lurus | Rata | Lurus | ||
| ID Flange Vakum (Cekap Logam, ANSI, ISO) | 200 mm | 200 mm | 290 mm | 300 mm | 400 mm | ||
| Kelajuan Pam Gas | |||||||
| Air | Liter/Sek | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 16,000 | |
| Udara | Liter/Sek | 1,500 | 1,500 | 3,000 | 3,600 | 6,000 | |
| Hidrogen | Liter/Sek | 2,500 | 2,200 | 5,000 | 6,000 | 5,000 | |
| Argon | Liter/Sek | 1,200 | 1,200 | 2,500 | 3,000 | 5,000 | |
| Kapasiti Gas | |||||||
| Hidrogen | Liter Standard | 17 | 8 | 24 | 24 | 15 | |
| Argon | Liter Standard | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 2,000 | 2,500 | |
| Keluaran | |||||||
| Argon | Sccm | 700 | 700 | 1,500 | 1,500 | 500 | |
| Argon | Torr-Liter/Sek | 9 | 9 | 19 | 19 | 6 | |
| Crossover | Torr-Liter | 150 | 150 | 300 | 300 | 300 | |
| Masa Penyejukan | |||||||
| 60 Hertz | 90 min | 90 min | 100 min | 100 min | 150 min | ||
| 50 Hertz | 110 min | 110 min | 120 min | 120 min | 180 min | ||
| Berat Cryopump | |||||||
| lbs | 45 | 42 | 85 | 90 | 160 | ||
| Kg | 20 | 19 | 39 | 41 | 73 |