On-Board® IS krioszivattyúk

Páratlan vákuumteljesítmény és energiahatékonyság

Az Edwards CTI-Cryogenics IS krioszivattyú-rendszerei innovatív, nagy hatékonyságú technológiát alkalmaznak, hogy páratlan vákuumteljesítményt és energiahatékonyságot biztosítsanak.

A szabadalmaztatott elosztott vezérlőrendszer felügyeli és folyamatosan beállítja a krioszivattyú-rendszer egyes elemeit, hogy fenntartsa az optimális rendszerszintű vákuumteljesítményt a kivételes folyamatkonzisztencia érdekében. Az On-Board IS krioszivattyúk a legmagasabb rendelkezésre állási időt, a legjobb termelékenységet és a legalacsonyabb teljes tulajdonlási költséget biztosítják a jelenleg elérhető krioszivattyú-rendszerek közül, az Edwards rendkívül gyorsan reagáló globális szerviz- és támogatási hálózatának támogatásával.

Főbb tulajdonságok

A szabadalmaztatott elosztott vezérlőrendszer folyamatosan felügyeli és szabályozza a krioszivattyú-rendszer egyes elemeit
Optimális vákuumteljesítmény fenntartása a teljes rendszerben, kivételes folyamatkonzisztenciát biztosítva
A leggyorsabb regenerálás egy- és többszivattyús konfigurációkban
Alacsony energia- és hűtővízfogyasztás a vákuumteljesítmény kompromisszumok nélkül
Könnyen integrálható
Gyors üzembe helyezés
Továbbfejlesztett távfelügyelet a megelőző és előrejelző karbantartáshoz

IS 320FX krioszivattyú
IS XP

Az On-Board® IS 320FX krioszivattyút kifejezetten a mai ionimplantátum-folyamatok kihívásaira fejlesztették ki, és javított hidrogénszivattyúzási sebességet és kapacitást biztosít, miközben fenntartja az elvárt minőséget, teljesítményt és megbízhatóságot.

Kifejezetten ionimplantátum-alkalmazásokhoz tervezve
Szerszámátbocsátásra optimalizálva
Intelligens „önbeállító” technológia
Alacsonyabb fenntartási költségek
Megnövelt megszakításmentes üzemidő

Az On-Board® IS XP krioszivattyú megnövelt kapacitást biztosít a PVD-alkalmazások számára a maximális termelékenység elérése érdekében, miközben fenntartja a folyamat átláthatóságát. Ugyanakkor kihasználja az On-Board® IS-től elvárt bizonyított energiahatékonyságot, egyenletes teljesítményt és alacsony tulajdonlási költséget.