Mempercepat integrasi dan meningkatkan operasi sistem
Pam vakum On-Board Edwards CTI-Cryogenics mempercepat integrasi dan meningkatkan operasi sistem - dikenali sebagai standard dunia untuk kebolehpercayaan dan prestasi.
Pam Cryo Dalam Kapal, dengan kawalan yang sepenuhnya terintegrasi dan periferal sokongan, memberikan waktu operasi yang unggul dan prestasi yang konsisten untuk meningkatkan produktiviti alat secara keseluruhan dan waktu operasi.
Ciri Utama
- Keupayaan Fast Regen™ yang memperluas prestasi cryopump antara regenerasi.
- Keupayaan regenerasi serentak, yang diperkasakan oleh rangkaian pam kriogenik anda, yang mempercepatkan regenerasi keseluruhan sistem.
- Sebuah kawalan mikroprosesor terbenam untuk meningkatkan prestasi, melaksanakan rutin diagnostik dan menyediakan keupayaan komunikasi.
- Perisian canggih dan antara muka pengguna grafik yang mudah digunakan untuk meningkatkan prestasi dan operasi dengan ketara.
| Model Cryopump Di Dalam Kapal | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| Kelajuan Pam - liter/detik. | ||||||||
| Uap Air | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 |
| Udara | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 | 3,600 | 2,200 | 6,000 | 10,000 |
| Hidrogen | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 | 6,000 | 3,200 | 12,000 | 12,000 |
| Argon | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 | 3,000 | 1,800 | 5,000 | 8,400 |
| Kapasiti - std. liter | ||||||||
| Argon | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 2,000 | 1,000 | 2,500 | 6,000 |
| Hidrogen (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Masa Regenerasi Nominal (sejuk ke sejuk) | ||||||||
| Peringkat Pertama dan Kedua | 75 min | 2,5 jam | 2,5 jam | 2,5 jam | 2,5 jam | <3,3 jam | 3 jam | <3,8 jam |
| Peringkat Kedua | <1 jam | <1 jam | <1 jam | <1 jam | <1 jam | <1,5 jam | <1,5 jam | - |