Capai tahap prestasi cryopump yang baru
CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F Cryopump mengekalkan tradisi Edwards dalam menyediakan cryopump implan yang paling boleh dipercayai dan berprestasi terbaik di pasaran.
Pam kriogenik On-Board® 320F XVS direka untuk memberikan prestasi pam hidrogen tertinggi bagi meningkatkan hasil proses dan throughput, menawarkan jawapan yang sempurna kepada cabaran aplikasi Implan Ion hari ini. Sistem kawalan pintar yang terintegrasi dalam cryopump memastikan kualiti proses yang lebih baik, konsistensi vakum, dan masa operasi, sambil menyediakan maklumat sistem secara langsung untuk kawalan optimum suhu array. Kualiti vakum dipertingkatkan melalui penyesuaian automatik kepada keadaan beban haba/gas yang berubah.
Ciri-ciri dan faedah
- Prestasi Vakum Stabil
- Prestasi Vakum yang Ditingkatkan
- Keserasian Sistem
- Pengurangan Variasi Kelajuan Pam H2 Antara Regenerasi
- Kesan Terhad kepada Kelajuan Pam H2 akibat Pencemaran Fotoresist
- Suhu array stabil yang dioptimumkan
- Kelajuan Pam H2 Tinggi-15,500 L/S
- Kapasiti H2 Tinggi – 40 STD-L
- Kelajuan Pam H2 Tinggi-15,500 L/S
- Kapasiti H2 Tinggi – 40 STD-L
