Bơm lạnh On-Board® IS Edwards

biểu ngữ trên cùng của bơm lạnh IS tích hợp

Hiệu suất chân không và hiệu quả năng lượng vượt trội

Hệ thống bơm lạnh IS CTI-Cryogenics của Edwards tận dụng công nghệ cải tiến, hiệu quả cao để cung cấp hiệu suất chân không và hiệu quả năng lượng vượt trội.

Hệ thống điều khiển phân phối được cấp bằng sáng chế giám sát và liên tục điều chỉnh các yếu tố riêng lẻ của hệ thống bơm lạnh để duy trì hiệu suất chân không tối ưu trên toàn hệ thống cho tính nhất quán vượt trội của quy trình. Bơm lạnh IS On-Board cung cấp thời gian hoạt động cao nhất, năng suất tốt nhất và tổng chi phí sở hữu thấp nhất của bất kỳ hệ thống bơm lạnh nào hiện có, được hỗ trợ bởi mạng lưới dịch vụ và hỗ trợ toàn cầu đáp ứng nhanh chóng của Edwards.

Các đặc điểm chính

Hệ thống điều khiển phân phối được cấp bằng sáng chế giám sát và liên tục điều chỉnh các yếu tố riêng lẻ của hệ thống bơm lạnh
Duy trì hiệu suất chân không tối ưu trên toàn hệ thống, mang lại tính nhất quán vượt trội cho quy trình
Tái tạo nhanh nhất trong cấu hình một và nhiều bơm
Tiêu thụ ít năng lượng và nước làm mát mà không ảnh hưởng đến hiệu suất chân không
Tích hợp hệ thống dễ dàng
Lắp đặt nhanh chóng
Giám sát từ xa nâng cao cho cả bảo trì dự phòng và dự đoán

Bơm lạnh IS 320FX
IS XP

Bơm đông lạnh On-Board® IS 320FX, được phát triển đặc biệt để giải quyết những thách thức của các quy trình cấy ghép ion hiện nay, cung cấp tốc độ và công suất bơm hydro tăng cường, đồng thời duy trì chất lượng, hiệu suất và độ tin cậy mà bạn mong đợi.

Được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng cấy ghép ion
Tối ưu hóa công suất công cụ
Công nghệ "tự điều chỉnh" thông minh
Chi phí sở hữu thấp hơn
Tăng thời gian hoạt động

Bơm lạnh On-Board® IS XP cung cấp công suất tăng lên cho các ứng dụng PVD để đạt được năng suất tối đa đồng thời duy trì tính minh bạch của quy trình. Đồng thời, nó tận dụng hiệu quả năng lượng đã được chứng minh, hiệu suất nhất quán và chi phí sở hữu thấp mà bạn đã mong đợi từ On-Board® IS.